Met TaC gecoate planetaire plaat

De Semicorex TaC gecoate planetaire plaat fungeert als een sleutelcomponent binnen MOCVD-reactoren en vertoont een planetair ontwerp dat wordt gekenmerkt door talrijke waferzakken die langs het oppervlak zijn gerangschikt. Deze zakken zijn speciaal gemaakt om de wafels op betrouwbare wijze te huisvesten tijdens de groeifase van elke epitaxiale laag, waardoor substraatwafels worden gestabiliseerd en substraatbeweging bij verhoogde procestemperaturen wordt geminimaliseerd. De exacte pocketgeometrie zorgt voor een consistente plaatsing van de wafels, wat belangrijk is voor een uniforme dikte van epitaxiale lagen en uniformiteitsniveaus van substraatdefecten voor alle wafels die tijdens hetzelfde proces worden gekweekt.

Een belangrijk ontwerpaspect van de planetaire plaat is wederom de kunstmatige verspreiding van fijne gasstroomgaten langs het oppervlak van de plaat. Deze gaten zijn zorgvuldig ontworpen en strategisch gepositioneerd, specifiek om de stroom precursorgassen in de reactor te meten, zodat een uniforme gasverspreiding en gelijkmatige afzetting tussen elke wafer wordt bereikt. In elk MOCVD-proces zijn aspecten van de gasdynamica van cruciaal belang bij het bepalen van de filmkwaliteiten, de dikte-uniformiteit en de algehele prestaties van het apparaat. Het geoptimaliseerde gatenontwerp op deTaC-gecoatPlanetary Plate zorgt ervoor dat alle wafers dezelfde procesomstandigheden ervaren, wat een optimale manier biedt om de opbrengst en reproduceerbaarheid te verbeteren.

DeTaC-coating (tantaalcarbide).verlengt de prestaties en levensduur van de planetaire plaat verder. Tantaalcarbide is extreem hard, chemisch inert en thermisch geleidend, waardoor het een uitstekende coating is voor extreme MOCVD-omgevingen. Tijdens epitaxie zullen de componenten in de reactor te maken krijgen met hoge temperaturen, reactieve precursorgassen en blootstelling aan plasma. De TaC-coating dient als een robuuste barrière tegen corrosie, oxidatie en het genereren van deeltjes, wat resulteert in een significante verlenging van de levensduur van de planetaire plaat dan een ongecoate of conventioneel gecoate plaat.

De lange levensduur en duurzaamheid van de TaC Coated Planetary Plate maken het een kosteneffectieve keuze voor MOCVD-systemen. De duurzame TaC-laag is bestand tegen herhaalde thermische cycli en blootstelling aan extreme procesgassen, terwijl de structurele integriteit en stabiliteit van de prestaties behouden blijft terwijl ze gedurende langere tijd in bedrijf zijn.