TaC-gecoate afdichtring

Semicorex TaC-gecoate afdichtingsringen vertonen een uitstekende inertie tegen een breed scala aan corrosieve gassen en chemicaliën die worden gebruikt in halfgeleiderprocessen, waaronder plasma-etschemie (bijv. fluor, chloor, broom), doteermiddelen (bijv. boor, fosfor, arseen) en agressieve schoonmaakmiddelen. Deze inertie voorkomt verslechtering van de afdichtingen en vervuiling van gevoelige proceskamers.

En met een smeltpunt van meer dan 3800°C behoudt de met TaC gecoate afdichtingsring zijn structurele integriteit en mechanische sterkte bij de hoge temperaturen die optreden tijdens de wafelverwerking. Dit garandeert betrouwbare afdichtingsprestaties tijdens gloei-, afzettings- en etsprocessen bij hoge temperaturen.

De extreme hardheid en lage wrijvingscoëfficiënt van de TaC-gecoate afdichtingsring zorgen voor een uitzonderlijke weerstand tegen slijtage, krassen en schuren. Dit is van cruciaal belang bij dynamische afdichtingstoepassingen waarbij herhaalde bewegingen of contact met wafels en andere componenten kunnen leiden tot het genereren van deeltjes en het falen van de afdichting.

De met TaC gecoate afdichtring vertoont zeer lage ontgassingsnelheden, zelfs bij hoge temperaturen, waardoor ze ideaal zijn voor hoogvacuümtoepassingen. Dit garandeert proceszuiverheid en voorkomt de afzetting van ongewenste verontreinigingen op gevoelige waferoppervlakken.

Specifieke voordelen in halfgeleidertoepassingen:

Verlengde levensduur van de afdichting:De met TaC gecoate afdichtingsring verlengt de levensduur van de afdichting aanzienlijk door superieure weerstand te bieden tegen chemische aantasting, thermische degradatie en mechanische slijtage. Dit vermindert de frequentie van vervanging van afdichtingen, waardoor stilstand en onderhoudskosten worden geminimaliseerd.

Verbeterde procesopbrengst en wafelkwaliteit:De inerte aard van de met TaC gecoate afdichtring minimaliseert de vorming van deeltjes en verontreiniging, wat leidt tot hogere procesopbrengsten en verbeterde waferkwaliteit. Dit is van cruciaal belang voor de productie van hoogwaardige halfgeleiderapparaten met strenge defecttoleranties.

Verbeterde uptime en productiviteit van apparatuur:Een langere levensduur van afdichtingen en lagere onderhoudsvereisten dragen bij aan een hogere inzetbaarheid van de apparatuur en de algehele productiviteit. Dit is van cruciaal belang voor het maximaliseren van de output en het voldoen aan de eisen van de grootschalige productie van halfgeleiders.