Met TaC gecoate zaadkristalhouder

Met TaC gecoate zaadkristalhouder is een hoogwaardige component die speciaal is ontworpen voor de groeiomgeving van halfgeleidermaterialen. Als toonaangevende fabrikant van met TTaC gecoate zaadkristalhouders biedt semicorex u efficiënte kerncomponentoplossingen op het gebied van de hoogwaardige halfgeleiderproductie.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Het substraat vanTaC-gecoatDe zaadkristalhouder is meestal gemaakt van grafiet, siliciumcarbide of koolstof/koolstofcomposietmaterialen, en vervolgens wordt een laag TaC-coating op het oppervlak aangebracht via geavanceerde chemische dampdepositie (CVD)-technologie bij ultrahoge temperaturen. De volgens deze methode vervaardigde met TaC gecoate zaadkristalhouder heeft uitstekende corrosieweerstand, supermechanische sterkte, goede weerstand tegen hoge temperaturen en efficiënte thermische geleidbaarheid.

De functie van met TaC gecoate zaadkristalhouder

1. Ondersteuningsfunctie

De met TaC gecoate zaadkristalhouder van Semicorex biedt een stabiel ondersteuningsplatform voor zaadkristallen, waardoor wordt gegarandeerd dat het zaadkristal een vaste positie behoudt onder uitdagende omstandigheden zoals hoge temperaturen en hoog vacuüm. Dit voorkomt effectief problemen zoals kristalverplaatsing of schade door trillingen en luchtstroom, en zorgt zo voor de continuïteit en stabiliteit van de kristalgroei.

2. Beschermende werking

De met TaC gecoate entkristalhouder wordt boven het deksel van de grafietkroes geïnstalleerd en isoleert het grafietdeksel tegen Si-damp op hoge temperatuur. Dit voorkomt effectief dampgeïnduceerde corrosie en verlengt de levensduur van het grafietdeksel. Bovendien helpen de inherente chemische stabiliteit en thermische temperatuurbestendigheid van de TaC-coating ook om de introductie van onzuiverheden te verminderen, waardoor een stabiele en schone omgeving wordt geboden voor de groei van entkristallen.

3. Temperatuurregeling

Semicorex TaC-gecoate zaadkristalhouder maakt gebruik van productietechnieken die toonaangevend zijn in de industrie. Nauwkeurige temperatuurregeling van het thermische veld kan worden bereikt door de vorm, afmetingen en laagdikte vakkundig te optimaliseren. Dit verlaagt het defectpercentage aanzienlijk en bevordert op efficiënte wijze een uniforme kristalgroei.