TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) proces.
Tantaalcarbide (TaC) is een verbinding die bestaat uit tantaal en koolstof. Het heeft een metallische elektrische geleidbaarheid en een uitzonderlijk hoog smeltpunt, waardoor het een vuurvast keramisch materiaal is dat bekend staat om zijn sterkte, hardheid en hitte- en slijtvastheid. Het smeltpunt van Tantalum Carbides piekt op ongeveer 3880°C, afhankelijk van de zuiverheid, en heeft een van de hoogste smeltpunten onder de binaire verbindingen. Dit maakt het een aantrekkelijk alternatief wanneer hogere temperatuureisen de prestatiemogelijkheden overschrijden die worden gebruikt in epitaxiale processen van samengestelde halfgeleiders zoals MOCVD en LPE.
Materiaalgegevens van Semicorex TaC Coating
Projecten |
Parameters |
Dikte |
14,3 (g/cm³) |
Emissiviteit |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardheid (HK) |
2000 |
Weerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermische stabiliteit |
<2500℃ |
Grafiet dimensieverandering |
-10~-20um (referentiewaarde) |
Laagdikte |
≥20um typische waarde (35um±10um) |
|
|
Bovenstaande zijn typische waarden |
|
Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in Metal-Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) ovens voor epitaxiale (epi) verwerking van halfgeleiders. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Tantalum Carbide Coated Plate is een geavanceerde oplossing die is ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van de halfgeleiderproductie, met name in de epitaxiale (epi) verwerkingsfase. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC gecoate geleidingsring, een toppunt van innovatie in SiC (siliciumcarbide) monokristallijne groeiovens. Deze geleidingsring is zorgvuldig ontworpen om te voldoen aan de veeleisende eisen van de halfgeleiderindustrie en belooft uw kristalgroeiprocessen opnieuw te definiëren met ongeëvenaarde precisie en betrouwbaarheid.
Lees verderStuur onderzoekDe geavanceerde TaC-gecoate grafietsusceptor van Semicorex, een revolutionair onderdeel dat is ontworpen om uw wafer-epitaxiale proces naar nieuwe hoogten van efficiëntie en precisie te tillen. Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor is vervaardigd met ongeëvenaarde expertise en maakt gebruik van de modernste technologie en is ontworpen om te voldoen aan de veeleisende eisen van de halfgeleiderproductie.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex biedt hoogwaardige tantaalcarbide gecoate grafietonderdelen met service op maat. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex biedt tantaalcarbide gecoate grafiet susceptor met service op maat. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoek