TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) proces.
Tantaalcarbide (TaC) is een verbinding die bestaat uit tantaal en koolstof. Het heeft een metallische elektrische geleidbaarheid en een uitzonderlijk hoog smeltpunt, waardoor het een vuurvast keramisch materiaal is dat bekend staat om zijn sterkte, hardheid en hitte- en slijtvastheid. Het smeltpunt van Tantalum Carbides piekt op ongeveer 3880°C, afhankelijk van de zuiverheid, en heeft een van de hoogste smeltpunten onder de binaire verbindingen. Dit maakt het een aantrekkelijk alternatief wanneer hogere temperatuureisen de prestatiemogelijkheden overschrijden die worden gebruikt in epitaxiale processen van samengestelde halfgeleiders zoals MOCVD en LPE.
Materiaalgegevens van Semicorex TaC Coating
Projecten |
Parameters |
Dikte |
14,3 (g/cm³) |
Emissiviteit |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardheid (HK) |
2000 |
Weerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermische stabiliteit |
<2500℃ |
Grafiet dimensieverandering |
-10~-20um (referentiewaarde) |
Laagdikte |
≥20um typische waarde (35um±10um) |
|
|
Bovenstaande zijn typische waarden |
|
Semicorex TaC gecoat poreus grafiet, is een geavanceerd hoogzuiver materiaal voor halfgeleiderverwerking. Dit cruciale apparaat speelt een cruciale rol in het proces van de groei van monokristallijn SiC. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekAls professionele fabrikant willen wij u graag TaC-gecoate ringen aanbieden. Introductie van de CVD Tac Coated Ring, een ultramoderne oplossing voor halfgeleiderapparatuur. Dit baanbrekende product beschikt over een geavanceerde chemische dampafzetting (CVD)-coating die uitzonderlijke duurzaamheid en weerstand tegen slijtage biedt.
Lees verderStuur onderzoekIntroductie van de CVD Tac-gecoate smeltkroes, de perfecte oplossing voor fabrikanten van halfgeleiderapparatuur en gebruikers die het hoogste niveau van kwaliteit en prestaties eisen. Onze smeltkroezen zijn gecoat met een ultramoderne CVD Tac-laag (tantaalcarbide), die superieure weerstand biedt tegen corrosie en slijtage, waardoor ze ideaal zijn voor gebruik in een verscheidenheid aan halfgeleidertoepassingen.
Lees verderStuur onderzoek