TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) proces.
Tantaalcarbide (TaC) is een verbinding die bestaat uit tantaal en koolstof. Het heeft een metallische elektrische geleidbaarheid en een uitzonderlijk hoog smeltpunt, waardoor het een vuurvast keramisch materiaal is dat bekend staat om zijn sterkte, hardheid en hitte- en slijtvastheid. Het smeltpunt van Tantalum Carbides piekt op ongeveer 3880°C, afhankelijk van de zuiverheid, en heeft een van de hoogste smeltpunten onder de binaire verbindingen. Dit maakt het een aantrekkelijk alternatief wanneer hogere temperatuureisen de prestatiemogelijkheden overschrijden die worden gebruikt in epitaxiale processen van samengestelde halfgeleiders zoals MOCVD en LPE.
Materiaalgegevens van Semicorex TaC Coating
Projecten |
Parameters |
Dikte |
14,3 (g/cm³) |
Emissiviteit |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardheid (HK) |
2000 |
Weerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermische stabiliteit |
<2500℃ |
Grafiet dimensieverandering |
-10~-20um (referentiewaarde) |
Laagdikte |
≥20um typische waarde (35um±10um) |
|
|
Bovenstaande zijn typische waarden |
|
Semicorex Tantalum Carbide Coated Ring is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders. Het is ontworpen met een gespecialiseerde coating die meerdere functies vervult om de efficiëntie en levensduur van grafietcomponenten in halfgeleidermachines te verbeteren. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC-gecoate grafietonderdelen zijn met precisie vervaardigde componenten die speciaal zijn ontworpen om bestand te zijn tegen de veeleisende omgeving van halfgeleiderverwerking. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coating Graphite Cover vertegenwoordigt een geavanceerde oplossing op het gebied van thermische toepassingen voor kristalgroei en epitaxiale (epi) processen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coating Ring is een cruciaal onderdeel op het gebied van monokristallijne groei binnen het thermische veld. Deze gespecialiseerde geleidingsring is vervaardigd met precisie en innovatie en speelt een cruciale rol in het ingewikkelde proces van de productie van monokristallijne materialen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coated Wafer Susceptor is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in Metal-Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) ovens voor epitaxiale (epi) verwerking van halfgeleiders. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Tantalum Carbide Coated Plate is een geavanceerde oplossing die is ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van de halfgeleiderproductie, met name in de epitaxiale (epi) verwerkingsfase. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoek