Tantaalcarbide gecoate geleidingsringen

Geleidingsringen worden doorgaans boven de grafietkroes binnen het thermische veldsysteem geïnstalleerd. Ze werken samen met de smeltkroes, de verwarmer en de thermische isolatiecilinder en andere halfgeleidercomponenten om de distributie van warmte en procesgassen te geleiden en te controleren.

De Avoordelenvan Tantaalcarbidecoating

Bekend om de superieure prestaties vanTaC-coatingbij halfgeleider-monokristalgroeitoepassingen van de derde generatie biedt tantaalcarbidecoating de volgende voordelen:

1. Uitzonderlijke thermische stabiliteit

Tantaalcarbide beschikt over een uitstekende thermische weerstand, met een ultrahoog smeltpunt van 3880℃. Met deze uitzonderlijke thermische stabiliteit kunnen Semicorex tantaalcarbide gecoate geleidingsringen stabiel worden gebruikt in omgevingen met hoge temperaturen onder 2500 ℃. Bovendien minimaliseert de combinatie van deze twee materialen de risico's van barsten en afbladderen van de coating veroorzaakt door temperatuurveranderingen, wat de structurele integriteit van het onderdeel tijdens herhaalde verwarmings- en koelprocessen aanzienlijk mogelijk maakt.

2. Opmerkelijke corrosieweerstand

Tantaalcarbide heeft een opmerkelijke corrosieweerstand en oxidatieweerstand, en is chemisch inert voor de meeste reactieve gassen zoals ammoniak, waterstof en silicium. Dankzij deze chemische stabiliteit voorkomen Semicorex tantaalcarbide gecoate geleidingsringen effectief dat reactieve gassen de matrix eroderen en hun structurele integriteit beschadigen, terwijl ook het risico op verontreiniging door reactanten en onzuiverheden die de kristalstructuur binnendringen wordt vermeden.

De prestaties van Semicorex tantaalcarbide gecoate geleidingsringen

Semicorexmet tantaalcarbide gecoate geleidingsringengebruik hoogzuiver grafiet als matrix en breng de TaC-coating via CVD-technologie op het oppervlak aan. Door de combinatie van deze twee materialen bieden Semicorex tantaalcarbide gecoate geleidingsringen de volgende voordelen:

1. Gasstroomgeleiding en optimalisatie van het stroomveld

Tijdens de kristalgroei helpt het gebruik van geleidingsringen de stroomverdeling binnen het thermische veld te optimaliseren en worden reactieve gassen in een regelbare stroomrichting en uniforme verdeling geleid. Dankzij hun speciale structurele ontwerp kunnen de met tantaalcarbide gecoate geleidingsringen van Semicorex het gas geleiden en gelijkmatig verdelen, waardoor te hoge of lage lokale gasconcentraties effectief worden vermeden.

2. Temperatuurregeling en thermische veldoptimalisatie

Semicorex tantaalcarbide gecoate geleidingsringen vertonen een superieure thermische geleidbaarheid en spelen een cruciale rol bij het helpen reguleren van de temperatuurverdeling en zorgen voor een stabiel temperatuurveld voor kristalgroei. Met tantaalcarbide gecoate geleidingsringen van Semicorex kunnen bijvoorbeeld helpen de temperatuurgradiënt in de PVT-groei van siliciumcarbidekristallen te handhaven, waardoor wordt gegarandeerd dat de materialen onder geschikte omstandigheden ontleden, transporteren en kristalliseren.