Aluminiumnitride keramische boorkop

De keramische aluminiumnitride-klauwplaat vertegenwoordigt een geavanceerde oplossing voor de verwerking van halfgeleiderwafels, speciaal ontworpen om wafers veilig op hun plaats te houden tijdens verschillende productiefasen. Dit innovatieve apparaat functioneert als een elektrostatische spankop (ESC) en maakt gebruik van de uitzonderlijke eigenschappen van aluminiumnitride-keramiek om nauwkeurige en betrouwbare waferretentie te garanderen.

Semicorex Aluminium Nitride Keramische Chuck maakt gebruik van elektrostatische krachten om de wafer stevig op het oppervlak vast te houden. Dit wordt bereikt door een zorgvuldig ontworpen plaat met integrale elektroden, die strategisch zijn voorzien van hoge spanning. Als resultaat wordt er een elektrostatische houdkracht tot stand gebracht tussen de plaat en de wafel, waardoor de wafel effectief op zijn plaats wordt geïmmobiliseerd tijdens de verwerkingsfasen.

Een van de opvallende kenmerken van de aluminiumnitride keramische boorkop is de opmerkelijke combinatie van hoge thermische geleidbaarheid en isolatie-eigenschappen. Deze unieke combinatie van eigenschappen maakt het een ideale materiaalkeuze voor ESC-toepassingen. De hoge thermische geleidbaarheid zorgt voor een efficiënte warmteafvoer, cruciaal voor het handhaven van een uniforme temperatuurverdeling over de wafer tijdens de verwerking. Tegelijkertijd zorgen de uitzonderlijke isolatie-eigenschappen voor elektrische isolatie tussen de spankop en de wafer, waardoor het risico op elektrische interferentie of schade aan gevoelige halfgeleidercomponenten wordt geminimaliseerd.

De keramische aluminiumnitride-klauwplaat biedt verschillende voordelen ten opzichte van traditionele boorkopmaterialen. De robuuste constructie zorgt voor duurzaamheid op de lange termijn en is bestand tegen de strenge eisen van halfgeleiderproductieomgevingen. Bovendien maken de compatibiliteit met processen bij hoge temperaturen en de weerstand tegen thermische uitzetting het tot een onmisbaar hulpmiddel voor het bereiken van consistente en hoogwaardige wafelverwerkingsresultaten.