Vat-susceptors zijn een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in verschillende productieprocessen van halfgeleiders, zoals LPE, MOCVD. Semicorex brengt zeer zuiver siliciumcarbide in dunne lagen aan op het grafiet met behulp van het chemische dampdepositieproces (CVD), waardoor de halfgeleiderkwaliteit uitstekende thermische stabiliteit, chemische weerstand en slijtvastheid heeft, waardoor ze ideaal zijn voor gebruik in hoge- temperatuur processen.
● Zeer zuiver SiC-gecoat grafiet
● Superieure hittebestendigheid en chemische bestendigheid
● Hoge thermische uniformiteit
● Uitstekende slijtvastheid
De Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor voor Wafer Epitaxial is de perfecte keuze voor toepassingen met monokristallijne groei, dankzij het uitzonderlijk vlakke oppervlak en de hoogwaardige SiC-coating. Het hoge smeltpunt, de oxidatieweerstand en de corrosieweerstand maken het een ideale keuze voor gebruik in omgevingen met hoge temperaturen en corrosie.
Lees verderStuur onderzoekDe Semicorex SiC gecoate epitaxiale reactorvat is een grafietproduct van topkwaliteit gecoat met zeer zuiver SiC. De uitstekende dichtheid en thermische geleidbaarheid maken het een ideale keuze voor gebruik in LPE-processen, waardoor een uitzonderlijke warmteverdeling en bescherming wordt geboden in corrosieve omgevingen en omgevingen met hoge temperaturen.
Lees verderStuur onderzoekDe Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor is een grafietproduct van topkwaliteit, gecoat met zeer zuiver SiC, speciaal ontworpen voor LPE-processen. Met uitstekende hitte- en corrosieweerstand is dit product perfect voor gebruik in halfgeleiderproductietoepassingen.
Lees verderStuur onderzoekDe SiC-gecoate Susceptor Barrel voor epitaxiale reactorkamer van Semicorex is een zeer betrouwbare oplossing voor halfgeleiderproductieprocessen, met superieure warmteverdeling en thermische geleidbaarheidseigenschappen. Het is ook zeer goed bestand tegen corrosie, oxidatie en hoge temperaturen.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor is een hoogwaardig grafietproduct gecoat met zeer zuiver SiC en biedt uitzonderlijke hitte- en corrosieweerstand. Het is specifiek ontworpen voor LPE-toepassingen in de halfgeleiderindustrie.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC-coating EPI 3 1/4" Barrel Susceptor biedt uitstekende thermische stabiliteit en weerstand tegen chemische aantasting, terwijl het grafietsubstraat superieure warmteoverdrachtseigenschappen biedt.
Lees verderStuur onderzoek