Susceptor met siliciumcarbidecoating

Semicorex Silicon Carbide Coated Barrel Susceptor is een hoogwaardig grafietproduct gecoat met zeer zuiver SiC en biedt uitzonderlijke hitte- en corrosieweerstand. Het is specifiek ontworpen voor LPE-toepassingen in de halfgeleiderindustrie.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

OnsSusceptor met siliciumcarbidecoatingvan Semicorex is een ideale oplossing voor het kweken van enkele kristallen in hoge temperaturen en corrosieve omgevingen.

Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoge kwaliteit en kosteneffectiefsiliciumcarbide gecoatvat susceptor, wij geven prioriteit aan klanttevredenheid en bieden kosteneffectieve oplossingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden, die hoogwaardige producten en een uitzonderlijke klantenservice levert.

Parameters vanSiliciumcarbide gecoatVat ontvanger

Belangrijkste specificaties vanCVD-SIC-coating
SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur	FCC β-fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	urn	2~10
Chemische zuiverheid	%	99.99995
Warmtecapaciteit	J kg-1 K-1	640
Sublimatie temperatuur	℃	2700
Flexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300℃)	430
Thermische uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Thermische geleidbaarheid	(W/mK)	300

Kenmerken vanSiliciumcarbide gecoatVat ontvanger

- Zowel het grafietsubstraat als de siliciumcarbidelaag hebben een goede dichtheid en kunnen een goede beschermende rol spelen in werkomgevingen met hoge temperaturen en corrosie.

- Met siliciumcarbide gecoate susceptor die wordt gebruikt voor de groei van eenkristal, heeft een zeer hoge vlakheid van het oppervlak.

- Verminder het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënt tussen het grafietsubstraat en de siliciumcarbidelaag, verbeter effectief de hechtsterkte om scheuren en delaminatie te voorkomen.

- Zowel het grafietsubstraat als de siliciumcarbidelaag hebben een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen.

- Hoog smeltpunt, oxidatieweerstand op hoge temperatuur, corrosieweerstand.