De Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor is een grafietproduct van topkwaliteit, gecoat met zeer zuiver SiC, speciaal ontworpen voor LPE-processen. Met uitstekende hitte- en corrosieweerstand is dit product perfect voor gebruik in halfgeleiderproductietoepassingen.
Als u op zoek bent naar een hoogwaardige grafietsusceptor voor de vorming van epitaxiale lagen op halfgeleiderwafels, dan is de Semicorex Carbide-Coated Reactor Barrel Susceptor een uitstekende keuze. De siliciumcarbidecoating zorgt voor een superieure warmteverdeling en thermische geleidbaarheid, waardoor uitzonderlijke prestaties worden gegarandeerd, zelfs in de meest veeleisende omgevingen met hoge temperaturen.
Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve, met carbide gecoate reactorvat susceptor, geven we prioriteit aan klanttevredenheid en bieden we kosteneffectieve oplossingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden en hoogwaardige producten en uitzonderlijke klantenservice te leveren.
Parameters van met carbide beklede reactorvat susceptor
Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating |
||
SiC-CVD-eigenschappen |
||
Kristalstructuur |
FCC β-fase |
|
Dikte |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Chemische zuiverheid |
% |
99.99995 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Thermische uitzetting (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Kenmerken van de met carbide gecoate reactorvat susceptor
- Zowel het grafietsubstraat als de siliciumcarbidelaag hebben een goede dichtheid en kunnen een goede beschermende rol spelen in werkomgevingen met hoge temperaturen en corrosie.
- Met siliciumcarbide gecoate susceptor die wordt gebruikt voor de groei van eenkristal, heeft een zeer hoge vlakheid van het oppervlak.
- Verminder het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënt tussen het grafietsubstraat en de siliciumcarbidelaag, verbeter effectief de hechtsterkte om scheuren en delaminatie te voorkomen.
- Zowel het grafietsubstraat als de siliciumcarbidelaag hebben een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen.
- Hoog smeltpunt, oxidatieweerstand op hoge temperatuur, corrosieweerstand.