ICP-etsdragerplaat

ICP-etsdragerplaat

De ICP Etching Carrier Plate van Semicorex is de perfecte oplossing voor veeleisende waferhantering en dunnefilmafzettingsprocessen. Ons product biedt superieure hitte- en corrosieweerstand, zelfs thermische uniformiteit en laminaire gasstroompatronen. Met een schoon en glad oppervlak is onze drager perfect voor het hanteren van ongerepte wafels.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

De ICP Etching Carrier Plate van Semicorex biedt uitstekende duurzaamheid en levensduur bij het hanteren van wafers en processen voor het afzetten van dunne films. Ons product beschikt over superieure hitte- en corrosieweerstand, gelijkmatige thermische uniformiteit en laminaire gasstroompatronen. Met een schoon en glad oppervlak zorgt onze drager voor een optimale verwerking van onberispelijke wafels. Trek chemische reiniging op hoge temperatuur en hoge thermische uniformiteit in.
Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over onze ICP-etsdraagplaat.


Parameters van ICP-etsdraagplaat

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating

SiC-CVD-eigenschappen

Kristalstructuur

FCC β-fase

Dikte

g/cm³

3.21

Hardheid

Vickers-hardheid

2500

Korrelgrootte

urn

2~10

Chemische zuiverheid

%

99.99995

Warmtecapaciteit

J kg-1 K-1

640

Sublimatie temperatuur

2700

Flexurale kracht

MPa (RT 4-punts)

415

Young's Modulus

Gpa (4pt bocht, 1300℃)

430

Thermische uitzetting (CTE)

10-6K-1

4.5

Thermische geleidbaarheid

(W/mK)

300


Kenmerken van ICP-etsdragerplaat

- Voorkom loslaten en zorg voor een coating op alle oppervlakken

Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen: Stabiel bij hoge temperaturen tot 1600°C

Hoge zuiverheid: gemaakt door CVD chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.

Corrosiebestendigheid: hoge hardheid, dicht oppervlak en fijne deeltjes.

Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.

- Bereik het beste laminaire gasstroompatroon

- Garandeer de gelijkmatigheid van het thermische profiel

- Voorkom elke besmetting of verspreiding van onzuiverheden





Hottags: ICP-etsdraagplaat, China, fabrikanten, leveranciers, fabriek, aangepast, bulk, geavanceerd, duurzaam
Gerelateerde categorie
Stuur onderzoek
Stel gerust uw vraag via onderstaand formulier. Wij zullen u binnen 24 uur antwoorden.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept