Kies het ICP-plasma-etssysteem van Semicorex voor PSS-proces voor hoogwaardige epitaxie- en MOCVD-processen. Ons product is speciaal ontworpen voor deze processen en biedt superieure hitte- en corrosiebestendigheid. Met een schoon en glad oppervlak is onze drager perfect voor het hanteren van ongerepte wafels.
Het ICP-plasma-etssysteem van Semicorex voor het PSS-proces biedt uitstekende hitte- en corrosiebestendigheid voor het hanteren van wafers en processen voor het afzetten van dunne films. Onze fijne SiC-kristalcoating biedt een schoon en glad oppervlak, waardoor een optimale verwerking van onberispelijke wafels wordt gegarandeerd.
Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve producten aan onze klanten. Ons ICP-plasma-etssysteem voor het PSS-proces heeft een prijsvoordeel en wordt naar veel Europese en Amerikaanse markten geëxporteerd. Wij streven ernaar uw langetermijnpartner te zijn en producten van consistente kwaliteit en een uitzonderlijke klantenservice te leveren.
Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over ons ICP-plasma-etssysteem voor het PSS-proces.
Parameters van ICP-plasma-etssysteem voor PSS-proces
Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating |
||
SiC-CVD-eigenschappen |
||
Kristalstructuur |
FCC β-fase |
|
Dikte |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Chemische zuiverheid |
% |
99.99995 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Thermische uitzetting (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Kenmerken van ICP-plasma-etssysteem voor PSS-proces
- Voorkom loslaten en zorg voor een coating op alle oppervlakken
Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen: Stabiel bij hoge temperaturen tot 1600°C
Hoge zuiverheid: gemaakt door CVD chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.
Corrosiebestendigheid: hoge hardheid, dicht oppervlak en fijne deeltjes.
Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
- Bereik het beste laminaire gasstroompatroon
- Garandeer de gelijkmatigheid van het thermische profiel
- Voorkom elke besmetting of verspreiding van onzuiverheden