Op zoek naar een betrouwbare waferdrager voor etsprocessen? Zoek niet verder dan de siliciumcarbide ICP-etsdrager van Semicorex. Ons product is ontworpen om hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging te weerstaan, waardoor duurzaamheid en een lange levensduur worden gegarandeerd. Met een schoon en glad oppervlak is onze drager perfect voor het hanteren van ongerepte wafels.
Zorg voor optimale laminaire gasstroompatronen en een gelijkmatig thermisch profiel met Semicorex's Siliciumcarbide ICP Etching Carrier. Ons product is ontworpen om de best mogelijke resultaten te behalen bij de afzetting van dunne films en bij het hanteren van wafers. Met superieure hitte- en corrosiebestendigheid is onze drager de perfecte keuze voor veeleisende toepassingen.
Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve producten aan onze klanten. Onze siliciumcarbide ICP-etsdrager heeft een prijsvoordeel en wordt naar veel Europese en Amerikaanse markten geëxporteerd. Wij streven ernaar uw langetermijnpartner te zijn en producten van consistente kwaliteit en een uitzonderlijke klantenservice te leveren.
Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over onze siliciumcarbide ICP-etsdrager.
Parameters van siliciumcarbide ICP-etsdrager
Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating |
||
SiC-CVD-eigenschappen |
||
Kristalstructuur |
FCC β-fase |
|
Dikte |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Chemische zuiverheid |
% |
99.99995 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Thermische uitzetting (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Kenmerken van siliciumcarbide ICP-etsdrager
- Voorkom loslaten en zorg voor een coating op alle oppervlakken
Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen: Stabiel bij hoge temperaturen tot 1600°C
Hoge zuiverheid: gemaakt door CVD chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.
Corrosiebestendigheid: hoge hardheid, dicht oppervlak en fijne deeltjes.
Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
- Bereik het beste laminaire gasstroompatroon
- Garandeer de gelijkmatigheid van het thermische profiel
- Voorkom elke besmetting of verspreiding van onzuiverheden