ICP-plasma-etsbak

ICP-plasma-etsbak

De ICP-plasma-etsbak van Semicorex is speciaal ontworpen voor waferbehandelingsprocessen bij hoge temperaturen, zoals epitaxie en MOCVD. Met een stabiele oxidatieweerstand bij hoge temperaturen tot 1600 °C bieden onze dragers gelijkmatige thermische profielen en laminaire gasstroompatronen en voorkomen ze vervuiling of verspreiding van onzuiverheden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Onze ICP-plasma-etsbak is gecoat met siliciumcarbide volgens de CVD-methode, wat de ideale oplossing is voor waferhanteringsprocessen waarbij hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging nodig zijn. De dragers van Semicorex zijn voorzien van een fijne SiC-kristalcoating die voor gelijkmatige thermische profielen en laminaire gasstroompatronen zorgt en vervuiling of verspreiding van onzuiverheden voorkomt.
Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve producten aan onze klanten. Onze ICP-plasma-etsbak heeft een prijsvoordeel en wordt naar vele Europese en Amerikaanse markten geëxporteerd. Wij streven ernaar uw langetermijnpartner te zijn en producten van consistente kwaliteit en een uitzonderlijke klantenservice te leveren.
Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over onze ICP-plasma-etstray.


Parameters van ICP-plasma-etsbak

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating

SiC-CVD-eigenschappen

Kristalstructuur

FCC β-fase

Dikte

g/cm³

3.21

Hardheid

Vickers-hardheid

2500

Korrelgrootte

urn

2~10

Chemische zuiverheid

%

99.99995

Warmtecapaciteit

J kg-1 K-1

640

Sublimatie temperatuur

2700

Flexurale kracht

MPa (RT 4-punts)

415

Young's Modulus

Gpa (4pt bocht, 1300℃)

430

Thermische uitzetting (CTE)

10-6K-1

4.5

Thermische geleidbaarheid

(W/mK)

300


Kenmerken van de ICP-plasma-etsbak

- Voorkom loslaten en zorg voor een coating op alle oppervlakken

Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen: Stabiel bij hoge temperaturen tot 1600°C

Hoge zuiverheid: gemaakt door CVD chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.

Corrosiebestendigheid: hoge hardheid, dicht oppervlak en fijne deeltjes.

Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.

- Bereik het beste laminaire gasstroompatroon

- Garandeer de gelijkmatigheid van het thermische profiel

- Voorkom elke besmetting of verspreiding van onzuiverheden





Hottags: ICP-plasma-etsbak, China, fabrikanten, leveranciers, fabriek, aangepast, bulk, geavanceerd, duurzaam
Gerelateerde categorie
Stuur onderzoek
Stel gerust uw vraag via onderstaand formulier. Wij zullen u binnen 24 uur antwoorden.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept