De halfgeleiderproductie, de hoeksteen van de moderne technologische vooruitgang, streeft voortdurend naar kleinere, snellere en efficiëntere geïntegreerde schakelingen. Dit meedogenloze streven leidt tot de behoefte aan steeds nauwkeurigere en geavanceerdere productieprocessen, waarbij elke stap st......
Lees verderElektrostatische klauwplaten (ESC's) zijn onmisbaar geworden bij de productie van halfgeleiders en de productie van platte beeldschermen, en bieden een schadevrije, zeer controleerbare methode voor het vasthouden en positioneren van delicate wafers en substraten tijdens kritische verwerkingsstappen.......
Lees verderDe ontwikkeling van 3C-SiC, een belangrijk polytype siliciumcarbide, weerspiegelt de voortdurende vooruitgang in de materiaalkunde van halfgeleiders. In de jaren tachtig hebben Nishino et al. bereikte eerst een 4 μm dikke 3C-SiC-film op een siliciumsubstraat met behulp van chemische dampdepositie (C......
Lees verder