Elektrostatische klauwplaten (ESC's) zijn onmisbaar geworden bij de productie van halfgeleiders en de productie van platte beeldschermen, en bieden een schadevrije, zeer controleerbare methode voor het vasthouden en positioneren van delicate wafers en substraten tijdens kritische verwerkingsstappen.......
Lees verderDikke, zeer zuivere lagen siliciumcarbide (SiC), doorgaans groter dan 1 mm, zijn cruciale componenten in verschillende hoogwaardige toepassingen, waaronder de fabricage van halfgeleiders en ruimtevaarttechnologieën. Dit artikel gaat dieper in op het Chemical Vapour Deposition (CVD)-proces voor het p......
Lees verderChemical Vapour Deposition (CVD) is een veelzijdige dunnefilmdepositietechniek die op grote schaal wordt gebruikt in de halfgeleiderindustrie voor het vervaardigen van hoogwaardige, conforme dunne films op verschillende substraten. Dit proces omvat chemische reacties van gasvormige precursoren op ee......
Lees verderDit artikel gaat in op het gebruik en het toekomstige traject van siliciumcarbide (SiC) boten in relatie tot kwartsboten binnen de halfgeleiderindustrie, waarbij de nadruk specifiek ligt op hun toepassingen in de productie van zonnecellen.
Lees verderGalliumnitride (GaN) epitaxiale wafergroei is een complex proces, waarbij vaak gebruik wordt gemaakt van een tweestapsmethode. Deze methode omvat verschillende kritische fasen, waaronder bakken bij hoge temperatuur, groei van de bufferlaag, herkristallisatie en uitgloeien. Door de temperatuur gedure......
Lees verder