De SiC-gecoate ICP-component van Semicorex is speciaal ontworpen voor waferbehandelingsprocessen bij hoge temperaturen, zoals epitaxie en MOCVD. Met een fijne SiC-kristalcoating bieden onze dragers superieure hittebestendigheid, gelijkmatige thermische uniformiteit en duurzame chemische bestendigheid.
De SiC-gecoate ICP-component van Semicorex is de beste keuze voor waferbehandelingsprocessen die hoge temperatuur- en chemische bestendigheid vereisen. Onze dragers bieden gelijkmatige thermische profielen, laminaire gasstroompatronen en voorkomen besmetting of verspreiding van onzuiverheden dankzij ons fijne SiC-kristal. Met een fijne SiC-kristalcoating bieden onze dragers superieure hittebestendigheid, gelijkmatige thermische uniformiteit en duurzame chemische bestendigheid.
Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve producten aan onze klanten. Onze SiC-gecoate ICP-component heeft een prijsvoordeel en wordt naar veel Europese en Amerikaanse markten geëxporteerd. Wij streven ernaar uw langetermijnpartner te zijn en producten van consistente kwaliteit en een uitzonderlijke klantenservice te leveren.
Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over onze SiC-gecoate ICP-component.
Parameters van SiC-gecoate ICP-component
Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating |
||
SiC-CVD-eigenschappen |
||
Kristalstructuur |
FCC β-fase |
|
Dikte |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Chemische zuiverheid |
% |
99.99995 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Thermische uitzetting (CTE) |
10-6K-1 |
4.5 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Kenmerken van de SiC-gecoate ICP-component
- Voorkom loslaten en zorg voor een coating op alle oppervlakken
Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen: Stabiel bij hoge temperaturen tot 1600°C
Hoge zuiverheid: gemaakt door CVD chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.
Corrosiebestendigheid: hoge hardheid, dicht oppervlak en fijne deeltjes.
Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
- Bereik het beste laminaire gasstroompatroon
- Garandeer de gelijkmatigheid van het thermische profiel
- Voorkom elke besmetting of verspreiding van onzuiverheden