Thuis > Producten > Siliciumcarbide gecoat > ICP-etsdrager > SiC-gecoate ICP-component
SiC-gecoate ICP-component

SiC-gecoate ICP-component

De SiC-gecoate ICP-component van Semicorex is speciaal ontworpen voor waferbehandelingsprocessen bij hoge temperaturen, zoals epitaxie en MOCVD. Met een fijne SiC-kristalcoating bieden onze dragers superieure hittebestendigheid, gelijkmatige thermische uniformiteit en duurzame chemische bestendigheid.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

De SiC-gecoate ICP-component van Semicorex is de beste keuze voor waferbehandelingsprocessen die hoge temperatuur- en chemische bestendigheid vereisen. Onze dragers bieden gelijkmatige thermische profielen, laminaire gasstroompatronen en voorkomen besmetting of verspreiding van onzuiverheden dankzij ons fijne SiC-kristal. Met een fijne SiC-kristalcoating bieden onze dragers superieure hittebestendigheid, gelijkmatige thermische uniformiteit en duurzame chemische bestendigheid.
Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve producten aan onze klanten. Onze SiC-gecoate ICP-component heeft een prijsvoordeel en wordt naar veel Europese en Amerikaanse markten geëxporteerd. Wij streven ernaar uw langetermijnpartner te zijn en producten van consistente kwaliteit en een uitzonderlijke klantenservice te leveren.
Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over onze SiC-gecoate ICP-component.


Parameters van SiC-gecoate ICP-component

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating

SiC-CVD-eigenschappen

Kristalstructuur

FCC β-fase

Dikte

g/cm³

3.21

Hardheid

Vickers-hardheid

2500

Korrelgrootte

urn

2~10

Chemische zuiverheid

%

99.99995

Warmtecapaciteit

J kg-1 K-1

640

Sublimatie temperatuur

2700

Flexurale kracht

MPa (RT 4-punts)

415

Young's Modulus

Gpa (4pt bocht, 1300℃)

430

Thermische uitzetting (CTE)

10-6K-1

4.5

Thermische geleidbaarheid

(W/mK)

300


Kenmerken van de SiC-gecoate ICP-component

- Voorkom loslaten en zorg voor een coating op alle oppervlakken

Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen: Stabiel bij hoge temperaturen tot 1600°C

Hoge zuiverheid: gemaakt door CVD chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.

Corrosiebestendigheid: hoge hardheid, dicht oppervlak en fijne deeltjes.

Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.

- Bereik het beste laminaire gasstroompatroon

- Garandeer de gelijkmatigheid van het thermische profiel

- Voorkom elke besmetting of verspreiding van onzuiverheden





Hottags: SiC-gecoate ICP-component, China, fabrikanten, leveranciers, fabriek, aangepast, bulk, geavanceerd, duurzaam
Gerelateerde categorie
Stuur onderzoek
Stel gerust uw vraag via onderstaand formulier. Wij zullen u binnen 24 uur antwoorden.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept