Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën, en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-keramische componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van verbruiksartikelen voor waferverwerkingsapparatuur, zoals siliciumcarbide-waferboot, cantilever-peddels, buizen, enz. voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) constructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor consistente epi-laagdikte en weerstand.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Cantileverpeddel →
Cantilever Paddle is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name in diffusie- of LPCVD-ovens tijdens processen zoals diffusie en RTP.
Procesbuis →
Process Tube is een cruciaal onderdeel, specifiek ontworpen in verschillende halfgeleiderverwerkingstoepassingen zoals RTP en diffusie.
Waferboten →
Wafer Boat wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en is zorgvuldig ontworpen om ervoor te zorgen dat de delicate wafers veilig worden bewaard tijdens de kritieke productiefasen.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex heeft ook keramische producten in aluminiumoxide (Al2O3), siliciumnitride (Si3N4), aluminiumnitride (AIN), zirkoniumoxide (ZrO2), composietkeramiek, enz.
Semicorex ICP-etsplaat is een geavanceerd, krachtig onderdeel dat speciaal is ontworpen voor halfgeleidertoepassingen, vervaardigd uit siliciumcarbide (SiC)-materiaal. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC-reflector is een cruciaal element in verschillende halfgeleiderproductieprocessen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC keramische warmteoverdrachtplaten, gebaseerd op SiC als het primaire materiaal, ondergaan sinteren bij hoge temperatuur bij 2250°C, wat resulteert in een zeer verglaasd, dicht keramisch lichaam zonder porositeit met een SiC-gehalte van ≥99,3%. Met een buigsterkte van ≥410 MPa en een thermische geleidbaarheid van 140 W/m.k. zijn deze keramieksoorten de enige materialen die bestand zijn tegen corrosie door sterke zuren zoals fluorwaterstofzuur (HF) en zwavelzuur (H2SO4) in de halfgeleiderindustrie. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige SiC-keramische warmteoverdrachtplaten die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie. **
Lees verderStuur onderzoekSemicorex siliciumcarbide keramische structurele onderdelen, gewonnen uit korrels siliciumcarbide die aan elkaar zijn gebonden door sinteren, worden veelvuldig gebruikt in de automobiel-, mechanische, chemische, halfgeleider-, ruimtetechnologie-, micro-elektronica- en energiesectoren, en vervullen een cruciale rol in diverse toepassingen in deze industrieën. Vanwege hun opmerkelijke eigenschappen zijn keramische structurele onderdelen van siliciumcarbide een ideaal materiaal geworden voor zware omstandigheden die worden gekenmerkt door hoge temperaturen, hoge drukken, corrosie en slijtage, waardoor betrouwbare prestaties en een lange levensduur worden geboden in uitdagende operationele omgevingen.**
Lees verderStuur onderzoekAlumina keramische flenzen zijn ontworpen componenten die aanzienlijke voordelen bieden, vooral in omgevingen waar thermische stabiliteit, gewichtsoverwegingen en corrosieweerstand van het allergrootste belang zijn. Deze flenzen zijn niet alleen duurzaam en betrouwbaar, maar dragen ook bij aan de algehele efficiëntie en kosteneffectiviteit van de systemen waarin ze worden gebruikt. Hun unieke eigenschappen maken ze een uitstekende keuze voor geavanceerde technische oplossingen in verschillende industriële sectoren. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige aluminiumoxide keramische flenzen die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie.**
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Alumina Vacuum Chuck is een precisiehouder ontworpen voor geavanceerde productie- en onderzoekstoepassingen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoek