SiC keramische wafelboten

Het selecteren van betrouwbare en duurzame waferboten is van cruciaal belang om processtabiliteit en waferopbrengst te garanderen tijdens bedrijfsomstandigheden met hoge temperaturen en hoge corrosie. SemicorexSiC-keramiekwaferboten zijn de ideale keuze voor dit doel door hun vele voordelen te verwerken, waaronder hoge integratie, hoge stabiliteit, hoge temperatuurbestendigheid, slijtvastheid en een lange levensduur.

Eersteklas grondstoffenselecties

De kwaliteitscontrole van Semicorex overSiC keramische wafelbotenbegint met hun strenge grondstoffenselectie. Semicorex SiC keramische waferboten zijn gemaakt van siliciumcarbidepoeder met een hoge zuiverheid op halfgeleiderniveau via sinteren op hoge temperatuur. Dankzij hun hoogwaardige grondstoffen leveren ze de volgende uitzonderlijke prestaties.

1. Ultrahoge zuiverheid, lage verontreiniging met metaalverontreiniging.

2. Dichte materiaalstructuur, waardoor waferverontreiniging veroorzaakt door het afstoten van deeltjes wordt verminderd.

3. Uitstekende corrosieweerstand tegen plasma, sterke zuren en alkaliën.

4. Hoge hardheid en mechanische sterkte, slijtvast en krasbestendig.

5. Uitstekende thermische stabiliteit, geen vervorming of kruip bij 1250°C.

6. Uitstekende thermische schokbestendigheid, waardoor de thermische stress door snelle temperatuurveranderingen wordt verminderd.

Doordacht ontwerp op maat

Semicorex SiC keramische waferboten passen goed bij veel toonaangevende oven-OEM's in de industrie, zoals TEL, ASM en Kokusai Electric. Semicorex biedt op maat gemaakte oplossingen voor onze gewaardeerde klanten, ter ondersteuning van de aanpassing van de afmetingen van de wafelboot, de sleufsteek, de sleufdiepte, het sleufprofiel (V-vorm of U-vorm) en bijbehorende hoeken om perfecte compatibiliteit met uw apparatuur en verwerkingsvereisten mogelijk te maken.

Precisiebewerkingsnauwkeurigheid

Gesteund door geavanceerde bewerkingsapparatuur en volwassen verwerkingstechnologieën, is Semicorex in staat de afmetingen en toleranties van hun SiC-keramische waferboten strikt te controleren. Deze zeer nauwkeurige dimensionale controle zorgt ervoor dat halfgeleiderwafels tijdens bedrijf stevig worden gepositioneerd, waardoor schade aan de wafels als gevolg van slippen of kantelen effectief wordt voorkomen. Na precisiebewerking kunnen de gelijkmatig verdeelde sleuven van SiC-keramische waferboten ervoor zorgen dat elke wafer gelijkmatig wordt verwarmd en gereageerd tijdens oxidatie-, diffusie- en CVD-processen, wat in grote mate bijdraagt ​​aan het verbeteren van de procesconsistentie en de opbrengst van halfgeleiderchips.