Siliciumcarbide cassetteboten

Semicorexcassetteboten van siliciumcarbidezijn de onmisbare dragende componenten, met hun stabiele en zeer sterke structuur, die meerdere halfgeleiderwafels veilig en precies veilig vasthouden, overdragen en hanteren. Ze worden veel gebruikt in de verschillende halfgeleiderprocessen bij hoge temperaturen om een ​​geoptimaliseerde warmte- en gasstroomverdeling te garanderen voor consistente verwerkingsresultaten.

Zorgvuldig geselecteerde grondstof

Semicorex siliciumcarbide cassetteboten zijn nauwkeurig vervaardigd uit siliciumcarbidepoeder van halfgeleiderkwaliteit door middel van sinteren bij hoge temperatuur en beschikken over de volgende uitstekende eigenschappen.

1. Ultrahoge zuiverheid:Het onzuiverheidsgehalte van het substraat wordt gecontroleerd op minder dan 100 ppm, en het onzuiverheidsniveau vanCVD-siliciumcarbidecoating kan minder dan 1 PPM bereiken.

2. Betrouwbare corrosieweerstand:Siliciumcarbide-keramiek biedt een sterke corrosieweerstand en is bestand tegen corrosie door de meeste zuren (zoals zoutzuur, zwavelzuur en fluorwaterstofzuur), alkaliën (zoals natronloog), oplosmiddelen en oxiderende media.

3. Uitzonderlijke capaciteit voor thermisch beheer:Met uitzonderlijke thermische weerstand en een lage thermische uitzettingscoëfficiënt kunnen siliciumcarbide cassetteboten hun chemische eigenschappen en mechanische sterkte behouden, zelfs wanneer ze worden blootgesteld aan langdurige bedrijfsomstandigheden bij een hoge temperatuur rond de 1250 °C.

Nauwkeurig ontworpen structuur

1. Horizontale framestructuur:De horizontale framestructuur van Semicorex siliciumcarbide cassetteboten zorgt ervoor dat ze perfect passen in horizontale ovenbuizen voor hoge temperaturen.

2. Gelijkmatig verdeelde sleufinkepingen:Met talrijke gelijkmatig verdeelde sleufinkepingen kunnen Semicorex siliciumcarbide cassetteboten de wafer stevig op zijn plaats houden, wat de ongewenste krassen, schaafwonden en schade als gevolg van waferverplaatsing aanzienlijk kan voorkomen, waardoor de stabiliteit van het halfgeleiderproces en de opbrengst van de wafer effectief worden gegarandeerd.

3. Ontwerp met meerdere slots:Dankzij meerdere sleuven die zijn ontworpen om meerdere wafers te vervoeren, kunnen Semicorex siliciumcarbide-cassetteboten hun verwerkingscapaciteit voor één batch en de algehele productie-efficiëntie verbeteren.

4. Open architectuur:Semicorex siliciumcarbide cassetteboten zijn uitgerust met de doordachte open architectuur, die kan helpen bij het bereiken van een uniforme gasverdeling en voldoende reactiecontact, waardoor inconsistente procesresultaten effectief worden geminimaliseerd.