Siliciumcarbide keramische wafelboten

Eersteklas materiaalkeuze

De uitstekende eigenschappen van Semicorex siliciumcarbide keramiekwafel botenzijn te danken aan hoogwaardige grondstoffen. Gemaakt van SiSiC-materiaal van halfgeleiderkwaliteit en bedekt met een CVD SiC-coating, vertonen keramische wafelboten van siliciumcarbide de volgende uitstekende eigenschappen.

1. Ultrahoge zuiverheid, vrij van vrijgave van metaalverontreinigingen

Substraatonzuiverheid: <100 ppm

Onzuiverheid CVD SiC-coating: <1 ppm

2. Superieure thermische stabiliteit

Keramische wafelboten van siliciumcarbide kunnen gestaag presteren in omstandigheden van 1250 ℃ bij hoge temperaturen, waardoor minimale vervorming en kruipweerstand worden geboden.

3. Hoge mechanische sterkte

Siliciumcarbidebeschikt over een hoge hardheid en slijtvastheid, waardoor Semicorex siliciumcarbide keramische waferboten bestand zijn tegen krassen, schaafwonden en beschadigingen, waardoor ze goed presteren tijdens langdurig gebruik en bestand zijn tegen schade.

4. Uitzonderlijke corrosieweerstand

Omdat siliciumcarbide bestand is tegen corrosie door sterke zuren en logen, kunnen Semicorex siliciumcarbide keramische waferboten hun structurele integriteit en functionele prestaties behouden, zelfs onder zeer corrosieve werkomstandigheden.

Geoptimaliseerd structureel ontwerp

Semicorex siliciumcarbide keramische waferboten zijn ontworpen voor batchverwerking van wafers. Hun geoptimaliseerde structurele raamwerk zorgt voor stabiele batchwaferondersteuning en consistente processtabiliteit voor elke wafer.

Verticale draagconstructie met 1,3 stijlen

Dankzij de verticale structuur van Semicorex siliciumcarbide keramische waferboten kunnen ze naadloos aansluiten op verticale oventoepassingen. Met deze structuur kunnen emicorex keramische wafelboten van siliciumcarbide een homogene circulatie van procesgassen en een uniforme verdeling van thermische energie binnen de hogetemperatuuroven mogelijk maken.

2. Gelijkmatig verdeelde gleufknijpers

Semicorex siliciumcarbide keramische waferboten zijn uitgerust met meerdere nauwkeurig bewerkte gleufknijpers op hun steunpalen. Hun gelijkmatig verdeelde gleufknijpen zorgen voor een geschikte gleufafstand, waardoor keramische waferboten van siliciumcarbide halfgeleiderwafels stevig kunnen bevestigen, waardoor wordt bijgedragen aan het verbeteren van de consistentie van de thermische verwerkingsresultaten van wafers.

Met zoveel uitstekende prestaties en functies worden Semicorex keramische waferboten van siliciumcarbide veel gebruikt in kernprocessen van de productie van halfgeleiderwafels, zoals oxidatie, diffusie, ionenimplantatie en uitgloeien bij hoge temperaturen.