SiC-coating is een dunne laag op de susceptor via het chemische dampafzettingsproces (CVD). Siliciumcarbidemateriaal biedt een aantal voordelen ten opzichte van silicium, waaronder 10x de elektrische doorslagsterkte en 3x de bandafstand, waardoor het materiaal bestand is tegen hoge temperaturen en chemicaliën, uitstekende slijtvastheid en thermische geleidbaarheid.
Semicorex levert service op maat, helpt u te innoveren met componenten die langer meegaan, verkort de cyclustijden en verbetert de opbrengsten.
SiC-coating heeft verschillende unieke voordelen
Weerstand tegen hoge temperaturen: CVD SiC-gecoate susceptor is bestand tegen hoge temperaturen tot 1600 °C zonder significante thermische degradatie te ondergaan.
Chemische bestendigheid: De siliciumcarbidecoating biedt uitstekende weerstand tegen een breed scala aan chemicaliën, waaronder zuren, alkaliën en organische oplosmiddelen.
Slijtvastheid: De SiC-coating geeft het materiaal een uitstekende slijtvastheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen met hoge slijtage.
Thermische geleidbaarheid: De CVD SiC-coating geeft het materiaal een hoge thermische geleidbaarheid, waardoor het geschikt is voor gebruik in toepassingen met hoge temperaturen die een efficiënte warmteoverdracht vereisen.
Hoge sterkte en stijfheid: de met siliciumcarbide gecoate susceptor geeft het materiaal een hoge sterkte en stijfheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen die een hoge mechanische sterkte vereisen.
SiC-coating wordt in verschillende toepassingen gebruikt
LED-productie: CVD SiC-gecoate susceptor wordt gebruikt bij de productie van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV-LED, vanwege de hoge thermische geleidbaarheid en chemische weerstand.
Mobiele communicatie: CVD SiC gecoate susceptor is een cruciaal onderdeel van de HEMT om het GaN-op-SiC epitaxiale proces te voltooien.
Halfgeleiderverwerking: CVD SiC-gecoate susceptor wordt in de halfgeleiderindustrie gebruikt voor verschillende toepassingen, waaronder wafelverwerking en epitaxiale groei.
SiC-gecoate grafietcomponenten
Gemaakt van Silicon Carbide Coating (SiC) grafiet, de coating wordt via een CVD-methode aangebracht op specifieke soorten grafiet met hoge dichtheid, zodat deze kan werken in de hogetemperatuuroven met meer dan 3000 °C in een inerte atmosfeer, 2200 °C in vacuüm .
De bijzondere eigenschappen en de lage massa van het materiaal zorgen voor snelle opwarmsnelheden, een uniforme temperatuurverdeling en een uitstekende controleprecisie.
Materiaalgegevens van Semicorex SiC Coating
Typische eigenschappen |
Eenheden |
Waarden |
Structuur |
|
FCC β-fase |
Oriëntatie |
Fractie (%) |
111 voorkeur |
Bulkdichtheid |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Thermische uitzetting 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Conclusie CVD SiC gecoate susceptor is een composietmateriaal dat de eigenschappen van een susceptor en siliciumcarbide combineert. Dit materiaal bezit unieke eigenschappen, waaronder hoge temperatuur- en chemische bestendigheid, uitstekende slijtvastheid, hoge thermische geleidbaarheid en hoge sterkte en stijfheid. Deze eigenschappen maken het een aantrekkelijk materiaal voor diverse toepassingen bij hoge temperaturen, waaronder halfgeleiderverwerking, chemische verwerking, warmtebehandeling, productie van zonnecellen en LED-productie.
Verbeter de efficiëntie en precisie van uw epitaxiale halfgeleiderprocessen met de geavanceerde Epi Pre Heat Ring van Semicorex. Deze geavanceerde ring is met precisie vervaardigd uit SiC-gecoat grafiet en speelt een cruciale rol bij het optimaliseren van uw epitaxiale groei door procesgassen voor te verwarmen voordat ze de kamer binnenkomen.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Parts Abdeck Segmenten, een cruciaal onderdeel in de productie van halfgeleiderapparaten dat precisie en duurzaamheid opnieuw definieert. Deze kleine maar essentiële onderdelen zijn gemaakt van met SiC gecoat grafiet en spelen een cruciale rol bij het bevorderen van halfgeleiderverwerking naar nieuwe niveaus van efficiëntie en betrouwbaarheid.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Planetary Disk, met siliciumcarbide gecoate grafietwafer susceptor of drager ontworpen voor Molecular Beam Epitaxy (MBE) processen in Metal-Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) ovens. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekOntketen het toppunt van precisie in de productie van halfgeleiders met onze geavanceerde CVD SiC Pancake Susceptor. Deze schijfvormige component, vakkundig ontworpen voor halfgeleiderapparatuur, dient als een cruciaal element voor het ondersteunen van dunne halfgeleiderwafels tijdens epitaxiale depositieprocessen bij hoge temperaturen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVerbeter de mogelijkheden en efficiëntie van uw halfgeleiderapparatuur met onze baanbrekende halfgeleider SiC-componenten voor Epitaxial. Deze halfcilindrische componenten zijn speciaal ontworpen voor het inlaatgedeelte van epitaxiale reactoren en spelen een cruciale rol bij het optimaliseren van halfgeleiderproductieprocessen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekVerbeter de functionaliteit en efficiëntie van uw halfgeleiderapparaten met onze geavanceerde Half Parts Drum Products Epitaxial Part. Dit halfcilindrische accessoire is speciaal ontworpen voor de inlaatcomponenten van de LPE-reactor en speelt een cruciale rol bij het optimaliseren van uw halfgeleiderprocessen.
Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.