SiC-coating is een dunne laag op de susceptor via het chemische dampafzettingsproces (CVD). Siliciumcarbidemateriaal biedt een aantal voordelen ten opzichte van silicium, waaronder 10x de elektrische doorslagsterkte en 3x de bandafstand, waardoor het materiaal bestand is tegen hoge temperaturen en chemicaliën, uitstekende slijtvastheid en thermische geleidbaarheid.
Semicorex levert service op maat, helpt u te innoveren met componenten die langer meegaan, verkort de cyclustijden en verbetert de opbrengsten.
SiC-coating heeft verschillende unieke voordelen
Weerstand tegen hoge temperaturen: CVD SiC-gecoate susceptor is bestand tegen hoge temperaturen tot 1600 °C zonder significante thermische degradatie te ondergaan.
Chemische bestendigheid: De siliciumcarbidecoating biedt uitstekende weerstand tegen een breed scala aan chemicaliën, waaronder zuren, alkaliën en organische oplosmiddelen.
Slijtvastheid: De SiC-coating geeft het materiaal een uitstekende slijtvastheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen met hoge slijtage.
Thermische geleidbaarheid: De CVD SiC-coating geeft het materiaal een hoge thermische geleidbaarheid, waardoor het geschikt is voor gebruik in toepassingen met hoge temperaturen die een efficiënte warmteoverdracht vereisen.
Hoge sterkte en stijfheid: de met siliciumcarbide gecoate susceptor geeft het materiaal een hoge sterkte en stijfheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen die een hoge mechanische sterkte vereisen.
SiC-coating wordt in verschillende toepassingen gebruikt
LED-productie: CVD SiC-gecoate susceptor wordt gebruikt bij de productie van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV-LED, vanwege de hoge thermische geleidbaarheid en chemische weerstand.
Mobiele communicatie: CVD SiC gecoate susceptor is een cruciaal onderdeel van de HEMT om het GaN-op-SiC epitaxiale proces te voltooien.
Halfgeleiderverwerking: CVD SiC-gecoate susceptor wordt in de halfgeleiderindustrie gebruikt voor verschillende toepassingen, waaronder wafelverwerking en epitaxiale groei.
SiC-gecoate grafietcomponenten
Gemaakt van Silicon Carbide Coating (SiC) grafiet, de coating wordt via een CVD-methode aangebracht op specifieke soorten grafiet met hoge dichtheid, zodat deze kan werken in de hogetemperatuuroven met meer dan 3000 °C in een inerte atmosfeer, 2200 °C in vacuüm .
De bijzondere eigenschappen en de lage massa van het materiaal zorgen voor snelle opwarmsnelheden, een uniforme temperatuurverdeling en een uitstekende controleprecisie.
Materiaalgegevens van Semicorex SiC Coating
Typische eigenschappen |
Eenheden |
Waarden |
Structuur |
|
FCC β-fase |
Oriëntatie |
Fractie (%) |
111 voorkeur |
Bulkdichtheid |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Thermische uitzetting 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Conclusie CVD SiC gecoate susceptor is een composietmateriaal dat de eigenschappen van een susceptor en siliciumcarbide combineert. Dit materiaal bezit unieke eigenschappen, waaronder hoge temperatuur- en chemische bestendigheid, uitstekende slijtvastheid, hoge thermische geleidbaarheid en hoge sterkte en stijfheid. Deze eigenschappen maken het een aantrekkelijk materiaal voor diverse toepassingen bij hoge temperaturen, waaronder halfgeleiderverwerking, chemische verwerking, warmtebehandeling, productie van zonnecellen en LED-productie.
Semicorex MOCVD satelliethouderplaat is een uitstekende drager ontworpen voor gebruik in de halfgeleiderindustrie. De hoge zuiverheid, uitstekende corrosieweerstand en het zelfs thermische profiel maken het een uitstekende keuze voor wie op zoek is naar een drager die bestand is tegen de eisen van het halfgeleiderproductieproces. Wij streven ernaar onze klanten hoogwaardige producten te bieden die aan hun specifieke eisen voldoen. Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over onze MOCVD-satelliethouderplaat en hoe wij u kunnen helpen met uw halfgeleiderproductiebehoeften.
Lees verderStuur onderzoekU kunt er zeker van zijn dat u SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carriers voor MOCVD in onze fabriek koopt. Bij Semicorex zijn we een grootschalige fabrikant en leverancier van SiC gecoate grafiet susceptor in China. Ons product heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. Wij streven ernaar om onze klanten kwalitatief hoogwaardige producten te bieden die voldoen aan hun specifieke eisen. Onze SiC Coating Graphite Substrate Wafer Carrier voor MOCVD is een uitstekende keuze voor mensen die op zoek zijn naar een hoogwaardige drager voor hun halfgeleiderproductieproces.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC-gecoate grafietbasissusceptors voor MOCVD zijn dragers van superieure kwaliteit die worden gebruikt in de halfgeleiderindustrie. Ons product is ontworpen met hoogwaardig siliciumcarbide dat uitstekende prestaties en langdurige duurzaamheid biedt. Deze drager is ideaal voor gebruik bij het groeien van een epitaxiale laag op de waferchip.
Lees verderStuur onderzoekDe susceptors voor MOCVD-reactoren van Semicorex zijn hoogwaardige producten die in de halfgeleiderindustrie worden gebruikt voor verschillende toepassingen, zoals siliciumcarbidelagen en epitaxie-halfgeleiders. Ons product is verkrijgbaar in tandwiel- of ringvorm en is ontworpen om oxidatieweerstand bij hoge temperaturen te bereiken, waardoor het stabiel is bij temperaturen tot 1600°C.
Lees verderStuur onderzoekU kunt er zeker van zijn dat u Silicon Epitaxy Susceptors in onze fabriek koopt. De Silicon Epitaxy Susceptor van Semicorex is een hoogwaardig, zeer zuiver product dat in de halfgeleiderindustrie wordt gebruikt voor epitaxiale groei van de waferchip. Ons product beschikt over een superieure coatingtechnologie die ervoor zorgt dat de coating op alle oppervlakken aanwezig is, waardoor afbladderen wordt voorkomen. Het product is stabiel bij hoge temperaturen tot 1600°C, waardoor het geschikt is voor gebruik in extreme omgevingen.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex is een toonaangevende fabrikant en leverancier van SiC Susceptor voor MOCVD. Ons product is speciaal ontworpen om tegemoet te komen aan de behoeften van de halfgeleiderindustrie bij het laten groeien van de epitaxiale laag op de waferchip. Het product wordt gebruikt als middenplaat in MOCVD, met een tandwiel- of ringvormig ontwerp. Het heeft een hoge hitte- en corrosiebestendigheid, waardoor het ideaal is voor gebruik in extreme omgevingen.
Lees verderStuur onderzoek