SiC-gecoate plaatdragers voor MOCVD

Semicorex SiC gecoate plaatdragers voor MOCVD is een hoogwaardige drager ontworpen voor gebruik in het halfgeleiderproductieproces. De hoge zuiverheid, uitstekende corrosieweerstand en het zelfs thermische profiel maken het een uitstekende keuze voor wie op zoek is naar een drager die bestand is tegen de eisen van het halfgeleiderproductieproces.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Onze met SiC gecoate plaatdragers voor MOCVD hebben een hoge zuiverheid, waardoor het een uitstekende keuze is voor wie op zoek is naar een drager die zeer uniform en consistent is qua eigenschappen.
Onze SiC-gecoate plaatdragers voor MOCVD zijn gemaakt met een zeer zuivere siliciumcarbidecoating op grafiet, waardoor deze zeer goed bestand is tegen oxidatie bij hoge temperaturen tot 1600 °C. Het CVD chemische dampafzettingsproces dat bij de productie wordt gebruikt, zorgt voor een hoge zuiverheid en uitstekende corrosieweerstand. Het is zeer corrosiebestendig, met een dicht oppervlak en fijne deeltjes, waardoor het bestand is tegen zuur, alkali, zout en organische reagentia. De oxidatieweerstand bij hoge temperaturen zorgt voor stabiliteit bij hoge temperaturen tot 1600°C.

Parameters van SiC-gecoate plaatdragers voor MOCVD

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating
SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur	FCC β-fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	urn	2~10
Chemische zuiverheid	%	99.99995
Warmtecapaciteit	J kg-1 K-1	640
Sublimatie temperatuur	℃	2700
Flexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300℃)	430
Thermische uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Thermische geleidbaarheid	(W/mK)	300

Kenmerken van SiC-gecoate grafietsusceptor voor MOCVD

- Voorkom loslaten en zorg voor een coating op alle oppervlakken
Oxidatieweerstand bij hoge temperaturen: Stabiel bij hoge temperaturen tot 1600°C
Hoge zuiverheid: gemaakt door CVD chemische dampafzetting onder chloreringsomstandigheden op hoge temperatuur.
Corrosiebestendigheid: hoge hardheid, dicht oppervlak en fijne deeltjes.
Corrosiebestendigheid: zuur, alkali, zout en organische reagentia.
- Bereik het beste laminaire gasstroompatroon
- Garandeer de gelijkmatigheid van het thermische profiel
- Voorkom elke besmetting of verspreiding van onzuiverheden