SiC-coating is een dunne laag op de susceptor via het chemische dampafzettingsproces (CVD). Siliciumcarbidemateriaal biedt een aantal voordelen ten opzichte van silicium, waaronder 10x de elektrische doorslagsterkte en 3x de bandafstand, waardoor het materiaal bestand is tegen hoge temperaturen en chemicaliën, uitstekende slijtvastheid en thermische geleidbaarheid.
Semicorex levert service op maat, helpt u te innoveren met componenten die langer meegaan, verkort de cyclustijden en verbetert de opbrengsten.
SiC-coating heeft verschillende unieke voordelen
Weerstand tegen hoge temperaturen: CVD SiC-gecoate susceptor is bestand tegen hoge temperaturen tot 1600 °C zonder significante thermische degradatie te ondergaan.
Chemische bestendigheid: De siliciumcarbidecoating biedt uitstekende weerstand tegen een breed scala aan chemicaliën, waaronder zuren, alkaliën en organische oplosmiddelen.
Slijtvastheid: De SiC-coating geeft het materiaal een uitstekende slijtvastheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen met hoge slijtage.
Thermische geleidbaarheid: De CVD SiC-coating geeft het materiaal een hoge thermische geleidbaarheid, waardoor het geschikt is voor gebruik in toepassingen met hoge temperaturen die een efficiënte warmteoverdracht vereisen.
Hoge sterkte en stijfheid: de met siliciumcarbide gecoate susceptor geeft het materiaal een hoge sterkte en stijfheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen die een hoge mechanische sterkte vereisen.
SiC-coating wordt in verschillende toepassingen gebruikt
LED-productie: CVD SiC-gecoate susceptor wordt gebruikt bij de productie van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV-LED, vanwege de hoge thermische geleidbaarheid en chemische weerstand.
Mobiele communicatie: CVD SiC gecoate susceptor is een cruciaal onderdeel van de HEMT om het GaN-op-SiC epitaxiale proces te voltooien.
Halfgeleiderverwerking: CVD SiC-gecoate susceptor wordt in de halfgeleiderindustrie gebruikt voor verschillende toepassingen, waaronder wafelverwerking en epitaxiale groei.
SiC-gecoate grafietcomponenten
Gemaakt van Silicon Carbide Coating (SiC) grafiet, de coating wordt via een CVD-methode aangebracht op specifieke soorten grafiet met hoge dichtheid, zodat deze kan werken in de hogetemperatuuroven met meer dan 3000 °C in een inerte atmosfeer, 2200 °C in vacuüm .
De bijzondere eigenschappen en de lage massa van het materiaal zorgen voor snelle opwarmsnelheden, een uniforme temperatuurverdeling en een uitstekende controleprecisie.
Materiaalgegevens van Semicorex SiC Coating
Typische eigenschappen |
Eenheden |
Waarden |
Structuur |
|
FCC β-fase |
Oriëntatie |
Fractie (%) |
111 voorkeur |
Bulkdichtheid |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Thermische uitzetting 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Conclusie CVD SiC gecoate susceptor is een composietmateriaal dat de eigenschappen van een susceptor en siliciumcarbide combineert. Dit materiaal bezit unieke eigenschappen, waaronder hoge temperatuur- en chemische bestendigheid, uitstekende slijtvastheid, hoge thermische geleidbaarheid en hoge sterkte en stijfheid. Deze eigenschappen maken het een aantrekkelijk materiaal voor diverse toepassingen bij hoge temperaturen, waaronder halfgeleiderverwerking, chemische verwerking, warmtebehandeling, productie van zonnecellen en LED-productie.
Semicorex Liquid Phase Epitaxy (LPE) Reactorsysteem is een innovatief product dat uitstekende thermische prestaties, een gelijkmatig thermisch profiel en superieure coatinghechting biedt. De hoge zuiverheid, oxidatieweerstand bij hoge temperaturen en corrosieweerstand maken het een ideale keuze voor gebruik in de halfgeleiderindustrie. De aanpasbare opties en kosteneffectiviteit maken het tot een zeer concurrerend product op de markt.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex CVD Epitaxiale Depositie In Barrel Reactor is een zeer duurzaam en betrouwbaar product voor het kweken van epixiale lagen op waferchips. De oxidatieweerstand bij hoge temperaturen en de hoge zuiverheid maken het geschikt voor gebruik in de halfgeleiderindustrie. Het gelijkmatige thermische profiel, het laminaire gasstroompatroon en het voorkomen van besmetting maken het een ideale keuze voor hoogwaardige groei van epixiale lagen.
Lees verderStuur onderzoekAls u een hoogwaardige grafiet susceptor nodig heeft voor gebruik in halfgeleiderproductietoepassingen, is de Semicorex Silicon Epitaxial Deposition In Barrel Reactor de ideale keuze. De zeer zuivere SiC-coating en uitzonderlijke thermische geleidbaarheid bieden superieure beschermings- en warmteverdelingseigenschappen, waardoor het de beste keuze is voor betrouwbare en consistente prestaties, zelfs in de meest uitdagende omgevingen.
Lees verderStuur onderzoekAls u een grafiet susceptor nodig heeft met uitzonderlijke thermische geleidbaarheid en warmteverdelingseigenschappen, hoeft u niet verder te zoeken dan het Semicorex Inductief verwarmde vat Epi-systeem. De zeer zuivere SiC-coating biedt superieure bescherming in omgevingen met hoge temperaturen en corrosie, waardoor het de ideale keuze is voor gebruik in halfgeleiderproductietoepassingen.
Lees verderStuur onderzoekMet zijn uitzonderlijke thermische geleidbaarheid en warmteverdelingseigenschappen is de Semicorex Barrel Structure for Semiconductor Epitaxial Reactor de perfecte keuze voor gebruik in LPE-processen en andere halfgeleiderproductietoepassingen. De zeer zuivere SiC-coating biedt superieure bescherming in omgevingen met hoge temperaturen en corrosie.
Lees verderStuur onderzoekAls u op zoek bent naar een hoogwaardige grafiet susceptor voor gebruik in toepassingen voor de productie van halfgeleiders, dan is de Semicorex SiC Coated Graphite Barrel Susceptor de ideale keuze. De uitzonderlijke thermische geleidbaarheid en warmteverdelingseigenschappen maken het de beste keuze voor betrouwbare en consistente prestaties in omgevingen met hoge temperaturen en corrosie.
Lees verderStuur onderzoek