SiC-coating is een dunne laag op de susceptor via het chemische dampafzettingsproces (CVD). Siliciumcarbidemateriaal biedt een aantal voordelen ten opzichte van silicium, waaronder 10x de elektrische doorslagsterkte en 3x de bandafstand, waardoor het materiaal bestand is tegen hoge temperaturen en chemicaliën, uitstekende slijtvastheid en thermische geleidbaarheid.
Semicorex levert service op maat, helpt u te innoveren met componenten die langer meegaan, verkort de cyclustijden en verbetert de opbrengsten.
SiC-coating heeft verschillende unieke voordelen
Weerstand tegen hoge temperaturen: CVD SiC-gecoate susceptor is bestand tegen hoge temperaturen tot 1600 °C zonder significante thermische degradatie te ondergaan.
Chemische bestendigheid: De siliciumcarbidecoating biedt uitstekende weerstand tegen een breed scala aan chemicaliën, waaronder zuren, alkaliën en organische oplosmiddelen.
Slijtvastheid: De SiC-coating geeft het materiaal een uitstekende slijtvastheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen met hoge slijtage.
Thermische geleidbaarheid: De CVD SiC-coating geeft het materiaal een hoge thermische geleidbaarheid, waardoor het geschikt is voor gebruik in toepassingen met hoge temperaturen die een efficiënte warmteoverdracht vereisen.
Hoge sterkte en stijfheid: de met siliciumcarbide gecoate susceptor geeft het materiaal een hoge sterkte en stijfheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen die een hoge mechanische sterkte vereisen.
SiC-coating wordt in verschillende toepassingen gebruikt
LED-productie: CVD SiC-gecoate susceptor wordt gebruikt bij de productie van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV-LED, vanwege de hoge thermische geleidbaarheid en chemische weerstand.
Mobiele communicatie: CVD SiC gecoate susceptor is een cruciaal onderdeel van de HEMT om het GaN-op-SiC epitaxiale proces te voltooien.
Halfgeleiderverwerking: CVD SiC-gecoate susceptor wordt in de halfgeleiderindustrie gebruikt voor verschillende toepassingen, waaronder wafelverwerking en epitaxiale groei.
SiC-gecoate grafietcomponenten
Gemaakt van Silicon Carbide Coating (SiC) grafiet, de coating wordt via een CVD-methode aangebracht op specifieke soorten grafiet met hoge dichtheid, zodat deze kan werken in de hogetemperatuuroven met meer dan 3000 °C in een inerte atmosfeer, 2200 °C in vacuüm .
De bijzondere eigenschappen en de lage massa van het materiaal zorgen voor snelle opwarmsnelheden, een uniforme temperatuurverdeling en een uitstekende controleprecisie.
Materiaalgegevens van Semicorex SiC Coating
Typische eigenschappen |
Eenheden |
Waarden |
Structuur |
|
FCC β-fase |
Oriëntatie |
Fractie (%) |
111 voorkeur |
Bulkdichtheid |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Warmtecapaciteit |
J kg-1 K-1 |
640 |
Thermische uitzetting 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300℃) |
430 |
Korrelgrootte |
urn |
2~10 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Flexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Thermische geleidbaarheid |
(W/mK) |
300 |
Conclusie CVD SiC gecoate susceptor is een composietmateriaal dat de eigenschappen van een susceptor en siliciumcarbide combineert. Dit materiaal bezit unieke eigenschappen, waaronder hoge temperatuur- en chemische bestendigheid, uitstekende slijtvastheid, hoge thermische geleidbaarheid en hoge sterkte en stijfheid. Deze eigenschappen maken het een aantrekkelijk materiaal voor diverse toepassingen bij hoge temperaturen, waaronder halfgeleiderverwerking, chemische verwerking, warmtebehandeling, productie van zonnecellen en LED-productie.
De Semicorex Susceptor Disc is een onmisbaar hulpmiddel bij Metal-Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD), specifiek ontworpen voor het ondersteunen en verwarmen van halfgeleiderwafels tijdens het kritische proces van epitaxiale laagafzetting. De susceptorschijf speelt een belangrijke rol bij de productie van halfgeleiderapparaten, waarbij nauwkeurige laaggroei van het grootste belang is. De toewijding van Semicorex aan marktleidende kwaliteit, gecombineerd met concurrerende fiscale overwegingen, versterkt onze gretigheid om partnerschappen aan te gaan bij het voldoen aan uw transportvereisten voor halfgeleiderwafels.
Lees verderStuur onderzoekde Epitaxiale Si-plaat met één kristal kapselt het toppunt van verfijning, duurzaamheid en betrouwbaarheid in voor toepassingen met betrekking tot grafietepitaxie en wafelmanipulatie. Het onderscheidt zich door zijn dichtheid, vlakheid en thermische beheermogelijkheden, waardoor het de optimale keuze is voor strenge operationele omstandigheden. De toewijding van Semicorex aan marktleidende kwaliteit, gecombineerd met concurrerende fiscale overwegingen, versterkt onze gretigheid om partnerschappen aan te gaan bij het voldoen aan uw transportvereisten voor halfgeleiderwafels.
Lees verderStuur onderzoekDe Single-crystal Silicon Epi Susceptor is een essentieel onderdeel dat is ontworpen voor Si-GaN-epitaxieprocessen en kan worden aangepast aan geïndividualiseerde specificaties en voorkeuren, waardoor een op maat gemaakte oplossing wordt geboden die perfect aansluit bij specifieke vereisten. Of het nu gaat om aanpassingen in afmetingen of aanpassingen in de laagdikte, wij beschikken over de mogelijkheid om een product te ontwerpen en te leveren dat tegemoetkomt aan diverse procesparameters, waardoor de prestaties voor gerichte toepassingen worden geoptimaliseerd. De toewijding van Semicorex aan marktleidende kwaliteit, gecombineerd met concurrerende fiscale overwegingen, versterkt onze gretigheid om partnerschappen aan te gaan bij het voldoen aan uw transportvereisten voor halfgeleiderwa......
Lees verderStuur onderzoekSiC Epitaxy Susceptor is met precisie vervaardigd en ontworpen voor betrouwbaarheid en beschikt over een hoge corrosieweerstand, hoge thermische geleidbaarheid, weerstand tegen thermische schokken en hoge chemische stabiliteit, waardoor het effectief kan functioneren in een epitaxiale atmosfeer. Daarom wordt SiC Epitaxy Susceptor beschouwd als een kern- en cruciaal onderdeel van MOCVD-apparatuur. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Silicon Carbide Boat Holder is een gespecialiseerd product vervaardigd uit SiC-materiaal, zorgvuldig ontworpen voor toepassingen in industrieën zoals fotovoltaïsche energie, elektronica en halfgeleiders. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Solar Graphite Boat, een nauwkeurig ontworpen waferhouder die is ontworpen om te voldoen aan de veeleisende eisen van halfgeleiderverwerking bij hoge temperaturen. Deze innovatieve boot is gemaakt van hoogwaardig grafiet en biedt ongeëvenaarde thermische stabiliteit en duurzaamheid, waardoor optimale prestaties worden gegarandeerd in zelfs de meest veeleisende ovenomgevingen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoek