Vinnen van massief siliciumcarbide

Semicorex massiefsiliciumcarbide vinnenworden doorgaans geïnstalleerd als thermische isolatiecomponenten in verticale ovenbuizen van halfgeleiderapparatuur voor thermische behandeling, zoals RTP-gloeiovens en diffusieovens. Semicorex massieve siliciumcarbide vinnen kunnen de temperatuurverdeling in ovens met hoge temperaturen effectief reguleren en hitteschade aan procesdeurafdichtingsonderdelen veroorzaakt door hoge temperaturen minimaliseren. In natte oxidatieomstandigheden kunnen Semicorex massieve siliciumcarbide vinnen worden gebruikt om negatieve effecten op procesresultaten en halfgeleiderapparaten, veroorzaakt door waterdampcondensatie bij relatief lage procestemperaturen, effectief te voorkomen.

De voordelen van Semicorex massief siliciumcarbide lamellen

1. Uitstekende slijtvastheid

CVD SiC heeft een polykristallijne kubieke kristalstructuur, met een uitzonderlijke hardheid die na diamant de tweede is. De uitstekende slijtvastheid van Semicorex massief siliciumcarbide vinnen wordt aan deze eigenschap toegeschreven, waardoor ze bestand zijn tegen slijtage tijdens hantering en vervanging.

2. Superieure thermische beheercapaciteit

CVD SiC levert uitstekende thermische weerstand en hoge temperatuurstabiliteit, die niet smelt of verzacht bij temperaturen tot ongeveer 2000°C en zijn stabiliteit behoudt vóór sublimatie bij ultrahoge temperaturen. Dankzij deze superieure thermische eigenschappen zijn de lamellen van massief siliciumcarbide van Semicorex zeer geschikt voor de uitdagende verwerkingsomstandigheden van halfgeleiderwarmtebehandeling.

3. Ultrahoge reinheid

CVD-SiCwordt geproduceerd zonder sinteradditieven tijdens het depositieproces. Vergeleken met conventioneel reactiegebonden siliciumcarbide heeft het een veel hogere zuiverheid, die meer dan 99,9995% bedraagt. Dit voorkomt op effectieve wijze verontreiniging door metaalverontreiniging van Semicorex massief siliciumcarbide vinnen veroorzaakt door hoge temperaturen in procesomgevingen, waardoor perfect wordt voldaan aan de reinheidseis van geavanceerde halfgeleiderproductie.

4. Betrouwbare corrosieweerstand

Semicorex massieve siliciumcarbide vinnen zijn bestand tegen sterk oxiderende en sterk zure procesgassen die worden gebruikt in warmtebehandelingsprocessen van halfgeleiders, dankzij de uitzonderlijke chemische inertheid van CVD SiC bij hoge temperaturen. Deze betrouwbare corrosiebestendigheid verlengt effectief hun levensduur, waardoor de vervangingskosten van componenten worden verlaagd.

5. Nauwkeurige bewerkingsnauwkeurigheid

Om compatibiliteit met verschillende ovenbuizen te garanderen, kan Semicorex massieve siliciumcarbide vinnen aanpassen aan de eisen van de klant wat betreft diameter, dikte, gatgrootte, vlakheid en maattoleranties. Deze hoogwaardige bewerkingsprecisie garandeert een stabiele werking van de vinnen in apparatuur en helpt de algehele efficiëntie van warmtebehandelingstoepassingen op het gebied van halfgeleiders te optimaliseren.