TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) proces.
Tantaalcarbide (TaC) is een verbinding die bestaat uit tantaal en koolstof. Het heeft een metallische elektrische geleidbaarheid en een uitzonderlijk hoog smeltpunt, waardoor het een vuurvast keramisch materiaal is dat bekend staat om zijn sterkte, hardheid en hitte- en slijtvastheid. Het smeltpunt van Tantalum Carbides piekt op ongeveer 3880°C, afhankelijk van de zuiverheid, en heeft een van de hoogste smeltpunten onder de binaire verbindingen. Dit maakt het een aantrekkelijk alternatief wanneer hogere temperatuureisen de prestatiemogelijkheden overschrijden die worden gebruikt in epitaxiale processen van samengestelde halfgeleiders zoals MOCVD en LPE.
Materiaalgegevens van Semicorex TaC Coating
Projecten |
Parameters |
Dikte |
14,3 (g/cm³) |
Emissiviteit |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardheid (HK) |
2000 |
Weerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermische stabiliteit |
<2500℃ |
Grafiet dimensieverandering |
-10~-20um (referentiewaarde) |
Laagdikte |
≥20um typische waarde (35um±10um) |
|
|
Bovenstaande zijn typische waarden |
|
Semicorex Tantalum Carbide Halfmoon Part is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in het halfgeleider-epitaxieproces, een kritische fase in de productie van halfgeleiderapparaten. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC-Coating Crucible is een essentieel hulpmiddel gebleken bij het nastreven van hoogwaardige halfgeleiderkristallen, waardoor vooruitgang in de materiaalwetenschap en de prestaties van apparaten mogelijk wordt gemaakt. De unieke combinatie van eigenschappen van de TaC-Coating Crucible maakt ze bij uitstek geschikt voor de veeleisende omgevingen van kristalgroeiprocessen, wat duidelijke voordelen biedt ten opzichte van traditionele materialen.**
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coated Tube vertegenwoordigt het toppunt van materiaalwetenschap, ontworpen om de extreme omstandigheden te weerstaan die zich voordoen bij de geavanceerde halfgeleiderfabricage. Gemaakt door het aanbrengen van een dichte, uniforme laag TaC op een zeer zuiver isotroop grafietsubstraat via Chemical Vapour Deposition (CVD), biedt de TaC Coated Tube een overtuigende combinatie van eigenschappen die conventionele materialen overtreffen in veeleisende omgevingen met hoge temperaturen en chemisch agressieve omgevingen. **
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC-gecoate Halfmoon biedt overtuigende voordelen bij de epitaxiale groei van siliciumcarbide (SiC) voor vermogenselektronica en RF-toepassingen. Deze materiaalcombinatie pakt kritische uitdagingen op het gebied van SiC-epitaxie aan, waardoor een hogere waferkwaliteit, verbeterde procesefficiëntie en lagere productiekosten mogelijk worden. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige TaC-gecoate Halfmoon die kwaliteit combineert met kostenefficiëntie.**
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC-gecoate afdichtingsringen, toegepast op afdichtingscomponenten, bieden uitzonderlijke prestatievoordelen in de veeleisende omgevingen van de halfgeleiderfabricage. TaC-coating pakt kritische uitdagingen aan die te maken hebben met chemische bestendigheid, extreme temperaturen en mechanische slijtage, waardoor hogere procesopbrengsten, een hogere uptime van de apparatuur en uiteindelijk lagere productiekosten mogelijk zijn. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige TaC-gecoate afdichtingsringen die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie.**
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor is een cruciaal onderdeel en speelt een cruciale rol in afzettingsprocessen die essentieel zijn voor het maken van halfgeleiderwafels. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoek