TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) proces.
Tantaalcarbide (TaC) is een verbinding die bestaat uit tantaal en koolstof. Het heeft een metallische elektrische geleidbaarheid en een uitzonderlijk hoog smeltpunt, waardoor het een vuurvast keramisch materiaal is dat bekend staat om zijn sterkte, hardheid en hitte- en slijtvastheid. Het smeltpunt van Tantalum Carbides piekt op ongeveer 3880°C, afhankelijk van de zuiverheid, en heeft een van de hoogste smeltpunten onder de binaire verbindingen. Dit maakt het een aantrekkelijk alternatief wanneer hogere temperatuureisen de prestatiemogelijkheden overschrijden die worden gebruikt in epitaxiale processen van samengestelde halfgeleiders zoals MOCVD en LPE.
Materiaalgegevens van Semicorex TaC Coating
Projecten |
Parameters |
Dikte |
14,3 (g/cm³) |
Emissiviteit |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardheid (HK) |
2000 |
Weerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermische stabiliteit |
<2500℃ |
Grafiet dimensieverandering |
-10~-20um (referentiewaarde) |
Laagdikte |
≥20um typische waarde (35um±10um) |
|
|
Bovenstaande zijn typische waarden |
|
Semicorex TaC Coated Graphite Chuck is een hoogwaardig onderdeel dat is ontworpen voor nauwkeurige waferhantering en hoge temperatuurprocessen bij de productie van halfgeleiders. Kies Semicorex vanwege zijn innovatieve, duurzame producten die optimale prestaties en een lange levensduur garanderen in veeleisende halfgeleidertoepassingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC-ring is een hoogwaardige component ontworpen voor de groei van SiC-monokristallen, waardoor een optimale gasstroomverdeling en temperatuurregeling wordt gegarandeerd. Kies Semicorex vanwege onze expertise op het gebied van geavanceerde materialen en precisie-engineering, waardoor duurzame en betrouwbare oplossingen worden geboden die de efficiëntie en kwaliteit van uw halfgeleiderprocessen verbeteren.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Tantalum Carbide Part is een TaC-gecoate grafietcomponent ontworpen voor hoogwaardig gebruik in siliciumcarbide (SiC) kristalgroeitoepassingen en biedt uitstekende temperatuur- en chemische bestendigheid. Kies Semicorex voor betrouwbare, hoogwaardige componenten die de kristalkwaliteit en productie-efficiëntie bij de productie van halfgeleiders verbeteren.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Tantalum Carbide-ringen zijn cruciale componenten die worden gebruikt in geavanceerde halfgeleiderproductieprocessen. Bekend om hun uitzonderlijke hardheid, hoog smeltpunt en chemische inertheid, zijn we bij Semicorex toegewijd aan het leveren van producten die voldoen aan de hoogste normen van kwaliteit en prestaties, om ervoor te zorgen dat onze klanten voorop blijven lopen op het gebied van innovatie in de halfgeleiderindustrie.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor is een grafietbak gecoat met tantaalcarbide, gebruikt bij epitaxiale groei van siliciumcarbide om de kwaliteit en prestaties van de wafel te verbeteren. Kies Semicorex vanwege zijn geavanceerde coatingtechnologie en duurzame oplossingen die superieure SiC-epitaxieresultaten en een langere levensduur van de susceptor garanderen.*
Lees verderStuur onderzoekTaC Coating-geleidingsringen zijn grafietringen met een tantaalcarbidecoating, ontworpen voor gebruik in siliciumcarbide-kristalgroeiovens om de kristalkwaliteit te verbeteren. Kies Semicorex vanwege zijn geavanceerde coatingtechnologie, die superieure duurzaamheid, thermische stabiliteit en geoptimaliseerde kristalgroeiprestaties garandeert.*
Lees verderStuur onderzoek