TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) proces.
Tantaalcarbide (TaC) is een verbinding die bestaat uit tantaal en koolstof. Het heeft een metallische elektrische geleidbaarheid en een uitzonderlijk hoog smeltpunt, waardoor het een vuurvast keramisch materiaal is dat bekend staat om zijn sterkte, hardheid en hitte- en slijtvastheid. Het smeltpunt van Tantalum Carbides piekt op ongeveer 3880°C, afhankelijk van de zuiverheid, en heeft een van de hoogste smeltpunten onder de binaire verbindingen. Dit maakt het een aantrekkelijk alternatief wanneer hogere temperatuureisen de prestatiemogelijkheden overschrijden die worden gebruikt in epitaxiale processen van samengestelde halfgeleiders zoals MOCVD en LPE.
Materiaalgegevens van Semicorex TaC Coating
Projecten |
Parameters |
Dikte |
14,3 (g/cm³) |
Emissiviteit |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardheid (HK) |
2000 |
Weerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermische stabiliteit |
<2500℃ |
Grafiet dimensieverandering |
-10~-20um (referentiewaarde) |
Laagdikte |
≥20um typische waarde (35um±10um) |
|
|
Bovenstaande zijn typische waarden |
|
Semicorex TaC-gecoate afdichtingsringen, toegepast op afdichtingscomponenten, bieden uitzonderlijke prestatievoordelen in de veeleisende omgevingen van de halfgeleiderfabricage. TaC-coating pakt kritische uitdagingen aan die te maken hebben met chemische bestendigheid, extreme temperaturen en mechanische slijtage, waardoor hogere procesopbrengsten, een hogere uptime van de apparatuur en uiteindelijk lagere productiekosten mogelijk zijn. Wij bij Semicorex zijn toegewijd aan de productie en levering van hoogwaardige TaC-gecoate afdichtingsringen die kwaliteit combineren met kostenefficiëntie.**
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Tantalum Carbide Coated Susceptor is een cruciaal onderdeel en speelt een cruciale rol in afzettingsprocessen die essentieel zijn voor het maken van halfgeleiderwafels. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Tantalum Carbide Chuck is een geavanceerd onderdeel dat wordt gebruikt in apparatuur voor de productie van halfgeleiders en staat bekend om zijn uitzonderlijke thermische en mechanische eigenschappen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coated Ring is een cruciaal onderdeel dat aan deze veeleisende eisen voldoet. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC-gecoate douchekop is een integraal onderdeel van het chemische dampafzettingsproces en biedt ongeëvenaarde prestaties en een lange levensduur. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekDe met Semicorex TaC gecoate spankop vertegenwoordigt een aanzienlijke vooruitgang op het gebied van de productie van halfgeleiders. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoek