TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) proces.
Tantaalcarbide (TaC) is een verbinding die bestaat uit tantaal en koolstof. Het heeft een metallische elektrische geleidbaarheid en een uitzonderlijk hoog smeltpunt, waardoor het een vuurvast keramisch materiaal is dat bekend staat om zijn sterkte, hardheid en hitte- en slijtvastheid. Het smeltpunt van Tantalum Carbides piekt op ongeveer 3880°C, afhankelijk van de zuiverheid, en heeft een van de hoogste smeltpunten onder de binaire verbindingen. Dit maakt het een aantrekkelijk alternatief wanneer hogere temperatuureisen de prestatiemogelijkheden overschrijden die worden gebruikt in epitaxiale processen van samengestelde halfgeleiders zoals MOCVD en LPE.
Materiaalgegevens van Semicorex TaC Coating
Projecten |
Parameters |
Dikte |
14,3 (g/cm³) |
Emissiviteit |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardheid (HK) |
2000 |
Weerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermische stabiliteit |
<2500℃ |
Grafiet dimensieverandering |
-10~-20um (referentiewaarde) |
Laagdikte |
≥20um typische waarde (35um±10um) |
|
|
Bovenstaande zijn typische waarden |
|
Semicorex MOCVD Susceptor met TaC-coating is een baanbrekend onderdeel dat zorgvuldig is vervaardigd voor optimale prestaties in halfgeleider-epitaxieprocessen binnen MOCVD-systemen. Semicorex is standvastig in onze toewijding aan het leveren van superieure producten tegen zeer concurrerende prijzen. Wij willen graag een duurzaam partnerschap met u aangaan in China.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex CVD TaC Coated Ring is een cruciaal onderdeel van de halfgeleiderverwerking en symboliseert het hoogtepunt van de moderne materiaaltechniek. Deze ring is gemaakt voor implementatie in de meest rigoureuze omgevingen waar precisie en betrouwbaarheid de boventoon voeren en belichaamt de combinatie van geavanceerde coatingtechnieken met veerkrachtige materiaalwetenschap. Semicorex levert standvastig topproducten tegen concurrerende prijzen, en we kijken reikhalzend uit naar het aangaan van een langdurige samenwerking met u in China.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coated Planetary Susceptor is een zeer gespecialiseerde component ontworpen voor gebruik in de epitaxiale processen van de productie van halfgeleiders. Semicorex streeft ernaar producten van topkwaliteit te leveren tegen concurrerende prijzen. Wij willen graag een langdurig partnerschap met u aangaan in China.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Tantalum Carbide Coating Guide Ring is een geavanceerd onderdeel dat speciaal is ontworpen voor de halfgeleiderindustrie en een cruciale rol speelt in de groei van siliciumcarbide (SiC) kristallen. Dit product is ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van omgevingen met hoge temperaturen en hoge spanningen die inherent zijn aan halfgeleiderkristalgroeiprocessen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Tantalum Carbide Coating Graphite Crucible is een gespecialiseerd onderdeel ontworpen voor gebruik in de halfgeleiderindustrie, met name bij de groei van siliciumcarbide (SiC) kristallen. Deze hoogwaardige smeltkroes valt op door zijn unieke materiaalsamenstelling en structureel ontwerp, waardoor het een onmisbaar hulpmiddel is bij geavanceerde kristalgroeiprocessen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Tantalum Carbide Crucible is een cruciaal onderdeel in de halfgeleiderindustrie, speciaal ontworpen voor de groei van siliciumcarbide (SiC) kristallen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden*.
Lees verderStuur onderzoek