Susceptor met SiC-coating

Semicorex is een grootschalige fabrikant en leverancier van SiC Coated Barrel Susceptor in China. We richten ons op halfgeleiderindustrieën zoals siliciumcarbidelagen en epitaxie-halfgeleiders. Onze producten hebben een goed prijsvoordeel en bestrijken een groot deel van de Europese en Amerikaanse markten. Wij kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

SemicorexSusceptor met SiC-coatingis een zeer zuivere, met SiC gecoate grafietdrager, die daarbij wordt gebruikt om de epitaxiale laag op de waferchip te laten groeien, die geschikt is voor veel epitaxiale reactoren. Het heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, wat een grote stabiliteit biedt in extreme omgevingen.
OnsSiC-gecoatBarrel Susceptor is ook bestand tegen oxidatie en corrosie bij hoge temperaturen, waardoor het een betrouwbaar en duurzaam product is. Het hoge smeltpunt zorgt ervoor dat het bestand is tegen de hoge temperaturen die nodig zijn voor een efficiënte productie van halfgeleiders.
Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over onzeSiC-gecoatVat ontvanger

Parameters vanSiC-gecoatVat ontvanger

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating
SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur	FCC β-fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	urn	2~10
Chemische zuiverheid	%	99.99995
Warmtecapaciteit	J kg-1 K-1	640
Sublimatie temperatuur	℃	2700
Flexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300℃)	430
Thermische uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Thermische geleidbaarheid	(W/mK)	300