Susceptor met siliciumcarbide SiC-coating

Semicorex is een toonaangevende, onafhankelijke fabrikant van siliciumcarbide SiC-gecoate vatsusceptor, precisie-gefreesd hoogzuiver grafiet, met de nadruk op de siliciumcarbide-gecoate grafiet-, siliciumcarbide-keramische en MOCVP-gebieden van de halfgeleiderproductie. Onze siliciumcarbide SiC gecoate vatsusceptor heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

SemicorexSusceptor met siliciumcarbide SiC-coatingis een grafietproduct gecoat met hooggezuiverd SiC, dat een hoge hitte- en corrosieweerstand heeft. Het is geschikt voor LPE. DeSiliciumcarbideSiC-gecoate vatsusceptor die wordt gebruikt in processen die de epixiale laag op halfgeleiderwafels vormen, die een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen heeft.

Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie over onzeSiliciumcarbideSusceptor met SiC-coating.

Parameters vanSiliciumcarbide SiC gecoatVat ontvanger

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating
SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur	FCC β-fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	urn	2~10
Chemische zuiverheid	%	99.99995
Warmtecapaciteit	J kg-1 K-1	640
Sublimatie temperatuur	℃	2700
Flexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300℃)	430
Thermische uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Thermische geleidbaarheid	(W/mK)	300

Kenmerken vanSiliciumcarbide SiC gecoatVat ontvanger

- Zowel het grafietsubstraat als de siliciumcarbidelaag hebben een goede dichtheid en kunnen een goede beschermende rol spelen in werkomgevingen met hoge temperaturen en corrosie.

- Met siliciumcarbide gecoate susceptor die wordt gebruikt voor de groei van eenkristal, heeft een zeer hoge vlakheid van het oppervlak.

- Verminder het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënt tussen het grafietsubstraat en de siliciumcarbidelaag, verbeter effectief de hechtsterkte om scheuren en delaminatie te voorkomen.

- Zowel het grafietsubstraat als de siliciumcarbidelaag hebben een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen.

- Hoog smeltpunt, oxidatieweerstand op hoge temperatuur, corrosieweerstand.