Poly-Si buitenringen voor etsen

Meestal gepositioneerd rond dedouchekop, Poly-Si buitenring fungeert als verbindingsstuk tussen de uitlaatring en de douchekop. Er wordt samengewerkt met deelektrostatische boorkop, de Si-douchekop, de Si-focusring, de Si-uitlaatring en de Si-afschermring creëren een stabiele en betrouwbare procesomgeving voor zeer nauwkeurige etsbewerkingen.

Voordelen van Semicorex poly-Si buitenringen voor etsen

Semicorex poly-Si buitenringen voor etsen zijn nauwkeurig vervaardigd uit hoogwaardig polysilicium en leveren de volgende uitstekende eigenschappen.

1. Hoge reinheid en laag deeltjesgehalte

2. Superieure weerstand tegen hoge temperaturen en hoge thermische schokbestendigheid

3. Betrouwbare corrosieweerstand

4. Uitzonderlijke elektrische prestaties en hoge uniformiteit van de elektrische geleidbaarheid

Functies van Semicorex poly-Si buitenringen voor etsen

1. Stabiele aardingsprestaties

Semicorex poly-Si buitenringen voor etsen worden gebruikt voor aarding en bescherming van elektroden en kunnen statische accumulatie en boogschade voorkomen en een stabiele werking van het elektrodesysteem garanderen, waardoor ze perfect voldoen aan de proceseisen voor geavanceerde 3D NAND-fabricage.

2. Betrouwbare ondersteuning

Semicorex poly-Si buitenringen voor etsen dienen als essentiële componenten die de uitlaatring en douchekop met elkaar verbinden. Ze bieden betrouwbare mechanische ondersteuning aan beide onderdelen en houden ze stabiel op de geschikte plaats. Bovendien kan het gebruik van Semicorex poly-Si buitenringen voor het etsen plasma-erosie op de etskamer voorkomen, waardoor op effectieve wijze een stabiele uitvoering van de etsbewerking wordt gegarandeerd.

3. Compatibiliteit met het etsproces

Semicorex poly-Si buitenringen voor etsen hebben een laag gehalte aan onzuiverheden en een uitzonderlijke corrosieweerstand, waardoor ze uitstekend compatibel zijn met de fabricage van siliciumwafels, waardoor waferdefecten veroorzaakt door verontreiniging van geëtste bijproducten aanzienlijk worden verminderd en een hoge opbrengst bij de productie van halfgeleiders aanzienlijk wordt gegarandeerd.