Siliconen voetstukboot

Semicorex Silicon Pedestal Boat is een ultraschone waferdrager die met hoge zuiverheid en precisie is ontworpen om halfgeleiderprocessen bij hoge temperaturen te ondersteunen, zoals oxidatie, diffusie en LPCVD (Low Pressure Chemical Vapour Deposition). Deze waferdrager is gemaakt van 9N (99,9999999%)zeer zuiver siliciumom uitzonderlijke zuiverheid, thermische uitzettingsstabiliteit en mechanische precisie te garanderen voor waferondersteuning en consistente procescontrole in ultraschone omgevingen.

Terwijl de geometrieën van halfgeleiderapparaten blijven krimpen, is er nog nooit zo veel vraag geweest naar ultraschone en thermisch compatibele componenten voor het hanteren van wafers. De Silicon Pedestal Boat voldoet aan deze eisen met een hoge maatnauwkeurigheid en ongeëvenaarde zuiverheid, zodat deze kan worden gebruikt in geavanceerde ovensystemen die werken tussen 1100°C en 1250°C.

De siliciumbootstructuur kan worden aangepast om aan de eisen van de klant te voldoen, waaronder de vorm van de groefstaaf, de lengte van de groeftand, de vorm, de kantelhoek en de totale laadcapaciteit van de wafer. Siliciumboten op hoge temperatuur kunnen contactschade aan siliciumwafels effectief verminderen, waardoor de procesopbrengst wordt verbeterd. Het ontwerp met "slipvrije torens" voor hoge temperaturen ondersteunt de wafels alleen aan het uiteinde van de ondersteunende tand. Vergeleken met siliciumcarbide is silicium relatief minder hard, waardoor mechanische schade aan wafers wordt verminderd, waardoor de roosterkwaliteit wordt verbeterd en de productiekosten effectief worden verlaagd.

De sokkelboot is verkrijgbaar inmonokristallijn of polykristallijn siliciumom besmettingsrisico's geassocieerd met niet-siliciummaterialen te elimineren. Het platform heeft dezelfde chemische samenstelling als actief gebruikte wafers, waardoor ongewenste reacties of ionendiffusie tijdens processen bij hoge temperaturen worden geminimaliseerd. Materiaalhomogeniteit vermindert aanzienlijk de fysieke identiteit van deeltjes en metallische onzuiverheden, voor een consistente hoge wafelkwaliteit en een hoog apparaatrendement door herhaalde productiecycli.

De Semicorex Silicon Pedestal Boat is voorzien van nauwkeurig ontworpen wafersleuven, gecombineerd met verticale ondersteuningsstructuren, waardoor ervoor wordt gezorgd dat wafers tijdens de verwarmingscyclus perfect uitgelijnd en op afstand blijven. De maatvastheid is uitstekend en zorgt ervoor dat de voetstukboot niet zal kromtrekken, buigen of verschuiven bij extreme temperaturen, wat zorgt voor een goede temperatuur- en gasverdeling over elke wafer. Deze dimensionele stabiliteit heeft een onmiddellijk positief effect op de uniformiteit van de filmdikte tijdens oxidatie en diffusie en zorgt voor lagere defectaantallen en een betere herhaalbaarheid van het proces.

Het belangrijkste voordeel van de siliconen voetstukboot zijn de geoptimaliseerde mechanische en thermische eigenschappen. De hardheid van silicium in vergelijking met SiC of kwarts zal de vorming van microkrassen en deeltjes als gevolg van trillingen of beweging van de wafel tijdens verwarmde uitzetting helpen verminderen. Dit geldt vooral voor wafers die gevoelig zijn voor de achterkant, waarbij de integriteit van het waferoppervlak van cruciaal belang is voor de opbrengst en de prestaties van het apparaat.

De voetstukboot heeft een goede thermische geleidbaarheid en een lage thermische uitzettingscoëfficiënt die zorgt voor warmteoverdrachtseigenschappen terwijl de vorm en structurele stevigheid behouden blijven met meerdere verwarmings- en koelcycli. Het robuuste ontwerp zorgt bovendien voor een lange levensduur met minimale vervorming door extreme ovenomstandigheden.

Semicorex biedt op maat gemaakte ontwerpen voor een verscheidenheid aan apparatuurconfiguraties, waaronder waferdiameter, aantal sleuven, voetstukhoogte en geometrievariaties. Elk product wordt geïnspecteerd op zuiverheid, afmetingen gemeten en getest op thermische geleidbaarheid, allemaal om te voldoen aan de hoogste normen in het halfgeleiderproductieproces.

De Silicon Pedestal Boat is compatibel met oxidatie- en diffusieprocessen, evenals met LPCVD- en gloeitoepassingen die een onovertroffen temperatuuruniformiteit en verontreinigingscontrole vereisen. De Silicon Pedestal Boat is compatibel met andere siliciumovencomponenten zoals de injectorbuis, voeringbuis en waferdrager, waardoor het materiaal en de thermische match in het hele verwerkingssysteem behouden blijven.