Productomschrijving

Semicorex Silicon Injector is een component met ultrahoge zuiverheid, ontworpen voor de nauwkeurige levering van gas in lagedruk chemische dampafzettingssystemen (LPCVD) voor de afzetting van polysilicium en dunne films. Gemaakt van 9N (99,9999999%)hoge zuiverheid siliciumDeze fijne buisvormige injector biedt superieure zuiverheid, compatibiliteit met chemicaliën en thermische stabiliteit onder extreme procesomstandigheden.

Terwijl de productie van halfgeleiders blijft evolueren naar hogere niveaus van integratie en strengere controle op verontreiniging, zal elk gastoevoeronderdeel in de depositiekamer ook aan hogere normen moeten voldoen dan voorheen. De Semicorex Silicon Injector is speciaal ontwikkeld voor dit soort vereisten: het levert gasvormige materialen op een stabiele en uniforme manier door de reactiekamer zonder verontreiniging te introduceren die de filmkwaliteit of de wafelopbrengst negatief zou beïnvloeden.

De speciale buisvormige structuur van de siliciuminjector zorgt voor een gecontroleerde en gelijke verdeling van gas over een uniforme wafelbelasting. De micro-engineered openingen en het gladde binnenoppervlak zorgen voor reproduceerbare stroomsnelheden samen met laminaire gasdynamica die cruciaal zijn voor een consistente filmdikte en stabiele afzettingssnelheden in de oven. Of het nu gaat om silaan (SiH₄), dichloorsilaan (SiH₂Cl₂) of andere reactieve gassen, de injector biedt betrouwbare prestaties en precisie die nodig zijn voor polysiliciumfilmgroei van goede kwaliteit.

Dankzij de uitstekende thermische stabiliteit is de Semicorex Silicon Injector bestand tegen temperaturen tot 1250 °C en kan worden gecontroleerd zonder angst voor vervorming, scheuren of kromtrekken tijdens meerdere cycli van LPCVD op hoge temperatuur. Bovendien zorgen de hoge weerstand tegen oxidatie en chemische inertheid voor lange runs in een oxiderende, reducerende of corrosieve atmosfeer, terwijl het onderhoud wordt verminderd en processtabiliteit wordt gecreëerd.

Elke injector wordt vervaardigd met behulp van de modernste CNC-bewerkingen en polijsten, waardoor maattoleranties van submicron en ultragladde afwerkingen van het oppervlak worden bereikt. De hoogwaardige oppervlakteafwerking minimaliseert gasturbulentie, waardoor er zeer weinig tot geen deeltjes ontstaan, terwijl consistente stromingseigenschappen worden gegarandeerd bij inconsistente thermische en drukveranderingen. Precisieproductie garandeert strak gecontroleerde processen, reproduceerbare en betrouwbare resultaten en daardoor consistente prestaties van de apparatuur.

Semicorex produceert op maat gemaakte siliciuminjectoren, verkrijgbaar in aangepaste lengtes, diameters en mondstukconfiguraties. Er kunnen op maat gemaakte oplossingen worden ontwikkeld om gasverspreidingspatronen voor eenmalige reactorgeometrieën of depositierecepten te verbeteren. Elke injector wordt geïnspecteerd en geverifieerd op zuiverheid om het hoogste niveau van halfgeleiderkwaliteit te leverensilicium componenten.

Semicorex Silicon Injector biedt de precisie en zuiverheid die vereist is in de hedendaagse halfgeleiderproductie. Het gebruik van 9N ultrazuiver silicium, een bewerkingsnauwkeurigheid op micronniveau en een hoge thermische en chemische stabiliteit zorgen voor een uniforme gasverdeling, een lagere deeltjesgeneratie en uitzonderlijke betrouwbaarheid bij het afzetten van LPCVD-polysilicium.