Silicium Waferboot

Semicorex kan de structuur van de siliciumwafelboot aanpassen, inclusief de vorm van de groefstaaf, de lengte van de groeftand, de vorm, de kantelhoek en de totale laadcapaciteit van de wafer, en kan worden geproduceerd volgens de eisen van de klant. Siliciumboten op hoge temperatuur kunnen contactschade aan siliciumwafels effectief verminderen en de procesopbrengst verbeteren. Het ontwerp met "slipvrije torens" voor hoge temperaturen ondersteunt de wafels alleen aan het uiteinde van de ondersteunende tand. Vergeleken metsiliciumcarbideSilicium heeft een relatief lage hardheid, waardoor mechanische schade aan wafers wordt verminderd, waardoor de roosterdoorlaatbaarheid wordt verbeterd en de productiekosten effectief worden verlaagd. De gesmolten siliciumboot bestaat uit verschillende delen: tanden, basisplaat en bovenplaat, die aan elkaar zijn gesmolten. Hierdoor worden de productiekosten verlaagd. In geval van gedeeltelijke schade kunnen de beschadigde onderdelen worden vervangen zonder dat de hele siliconenboot hoeft te worden vervangen, waardoor de eigendomskosten tijdens het gebruik aanzienlijk worden verlaagd. Bovendien heeft de siliciumboot een grote bovengrens voor de afzetting van polysilicium, wat de frequentie van PM-apparatuur effectief kan verminderen en de productiecapaciteit kan verbeteren.

Semicorex Silicon Wafer Boat is een innovatieve, speciaal ontworpen waferdrager. Het is speciaal gemaakt voor ovenverwerking bij hoge temperaturen die wordt gebruikt in de halfgeleiderindustrie, inclusief oxidatie- en reductieprocessen bij temperaturen tussen 1200 en 1250 °C. Met prestatievoordelen die niet beschikbaar zijn in siliciumcarbide (SiC) materiaal, biedt de Silicon Wafer Boat voordelen die relevant zijn voor de rigoureuze processen die de productie van halfgeleiders vereist. Ten eerste is de ultrahoge zuiverheid van het siliciummateriaal aanzienlijk; in feite desilicium materiaalbereikt ultrahoge zuiverheidsniveaus van meer dan 9N (99,9999999%), waardoor wordt gegarandeerd dat geen metalen of vreemde onzuiverheden de wafelverwerking zullen vervuilen. Dit is van cruciaal belang voor de productie van geavanceerde halfgeleiderapparaten, waarbij de betrouwbaarheid van de prestaties en het rendement zwaar worden beïnvloed door vervuiling. De Silicon Wafer Boat biedt een ultraschone omgeving met een hoog zuiverheidsniveau, geschikt voor de meest geavanceerde industriële vereisten voor het hanteren van wafers die worden blootgesteld aan zeer hoge temperaturen voor oxidatie- en reductieverwerking.

Een ander voordeel van desilicium materiaalzijn de lagere hardheidseigenschappen in vergelijking met SiC-materiaal. SiC-staven of -boten staan ​​bekend om hun hardheid en sterkte, maar juist deze eigenschap kan tot problemen leiden tijdens de wafelverwerking. Bij hoge temperaturen zullen de wafels microbewegen; ze zullen lichtjes stuiteren, lichtjes verschuiven en de randen kromtrekken terwijl ze zich in de boot bevinden. Een harder SiC-materiaal kan een groter risico met zich meebrengen dat er deeltjes of krassen op de achterkant van de wafel ontstaan, omdat de eigenschappen van de wafel en de boot op elkaar inwerken onder deze verwerkingsomstandigheden bij hoge temperaturen.

De Silicon Wafer Boat neemt deze zorg weg door te profiteren van het relatief zachte karakter van silicium in relatie tot SiC. De vermindering van de hardheid zorgt voor minder wrijving en mechanische spanning wanneer wafers tijdens thermische cycli in contact komen met de boot. Als gevolg hiervan worden er minder vaak deeltjes gegenereerd en wordt het risico op krassen op de achterkant tot bijna nul gereduceerd. Bovendien verbetert de Silicon Wafer Boat, door oppervlaktedefecten te minimaliseren, direct de roosterkwaliteit en verhoogt het algehele kwalificatiepercentage van verwerkte wafers. Voor halfgeleiderfabrieken die de opbrengsten willen verbeteren met maximale kwaliteitscontrole, maakt deze prestatiestatus de siliciumboot een aantrekkelijke optie.

Silicium biedt een goede stabiliteit en mechanische sterkte bij hoge temperaturen, waardoor de boot betrouwbaar kan functioneren tijdens herhaalde ovencycli. Het materiaal is bestand tegen kromtrekken tijdens verwarmings- en afkoelcycli en behoudt dus een nauwkeurige plaatsing van de wafer en positioneringstolerantie, zelfs tijdens snelle ovencycli. Deze thermische robuustheid zorgt voor betrouwbare procesresultaten die consistent genoeg zijn voor productie van grote volumes met minimale variatie tussen runs. De Silicon Wafer Boat is geconstrueerd met hoge maatprecisie om een ​​consistente positionering en plaatsing van de wafer te garanderen. De boot is vervaardigd met behulp van geavanceerde machinale bewerking en polijsten om gladde oppervlakken, nauwe geometrie en nauwe toleranties te creëren.