Poly-Si gleufringen

Poly-Si gleufringen worden gewoonlijk geïnstalleerd in de reactiekamer van geavanceerde halfgeleideretsapparatuur. Ze werken synergetisch met siliciumonderdelen, inclusief siliciumfocus ringen, silicium buitenringen en siliciumdouchekoppen. Deze onderdelen kunnen een stabiele en optimale reactieomgeving voor het etsproces creëren, waardoor uitstekende resultaten worden gegarandeerdetsenprecisie en procesconsistentie.

Functies van Semicorex poly-Si gleufringen

1. Semicorex poly-Si gleufringen zijn uitgerust met meerdere gelijkmatig verdeelde sleuven die dienen als gasdoorgangen, waardoor de procesgassen na de reactie soepel kunnen worden afgevoerd.

2. Semicorex poly-Si gleufringen zorgen voor een uitstekende plasmacontrole en bieden betrouwbare bescherming voor de reactiekamer van halfgeleideretsapparatuur.

3. Semicorex poly-Si gleufringen kunnen helpen bij het aanpassen van het elektrische veld en de kamerdruk, waardoor wordt voorkomen dat instabiliteit de consistentie van het etsproces beïnvloedt.

Hoogwaardige materiaalkeuze

Semicorex poly-Si gleufringen zijn vervaardigd uit hoogwaardig polykristallijn silicium met een zuiverheidsniveau van meer dan 99,9999%, waardoor ze de volgende superieure eigenschappen hebben.

1. Ultrahoge zuiverheid en extreem laag onzuiverheidsgehalte.

2. Uitzonderlijke weerstand tegen plasmacorrosie.

3. Gunstige elektrische eigenschappen, met weerstandsuniformiteit: RRG ≤ 5%, lage resolutie. (<0,02), middenresolutie. (1–4) en hoge resolutie. (70-90).

Productiemogelijkheden en kwaliteitscontrole

Uitgerust met geavanceerde bewerkingsapparatuur en een ervaren technisch team, controleert Semicorex elk productieproces strikt en biedt hoogwaardige en goed op elkaar afgestemde poly-Si sleufringen aan onze gewaardeerde klanten. Daarnaast voert Semicorex strikte controle uit op maatmetingen, weerstandstests en visuele inspectie van de afgewerkte poly-Si sleufringen om ervoor te zorgen dat ze vrij zijn van defecten zoals spanen, krassen, scheuren en vlekken.