Siliconen etsringen

Siliciumetsringen zijn de essentiële componenten in de plasma-etskamer van CCP/ICP-etsapparatuur en worden doorgaans rond de halfgeleiderwafel geplaatst. Hun primaire functies zijn het ondersteunen van de halfgeleiderwafel, het handhaven van een uniforme plasmaverdeling, het beschermen van de wafelrand en het helpen creëren van optimale bedrijfsomstandigheden voor het plasma-etsproces.

Voordelen van Semicorex silicium etsringen

1. Keuze van premium materiaal

Semicorex silicium etsringen zijn vervaardigd uit het zorgvuldig geselecteerde hoogzuivere MCZmonokristallijn silicium, dat de volgende uitstekende eigenschappen biedt ten opzichte van conventioneel CZ monokristallijn silicium.

Hoge zuiverheid: De zuiverheid bedraagt ​​ruim 99,9999999%, wat betekent dat Semicorex silicium etsringen vrijwel geen onzuiverheden bevatten. Deze ultrahoge zuiverheid kan effectief de interferentie van componentonzuiverheden tijdens het etsproces vermijden, waardoor een hoge etsprecisie wordt gegarandeerd.

Stabiele structuur: MCZ monokristallijn silicium heeft een superieure kristalstructuur met minder defecten dan conventioneel CZ monokristallijn silicium. Deze stabiele kristalstructuur geeft Semicorex siliciumetsringen een verbeterde corrosieweerstand tegen plasmacorrosie en zorgt ervoor dat ze bestand zijn tegen zware etsomstandigheden.

Uitstekende uniformiteit van de weerstand:Semicorex silicium etsringenleveren uitzonderlijke weerstandsuniformiteit met RRG < 5%. Lage resolutie (<0,02 Ω·cm), middenresolutie. (0,2–25 Ω·cm), hoge resolutie. (>100Ω·cm). Deze uitstekende uniformiteit van de weerstand kan de ongelijkmatige plasmaverdeling, veroorzaakt door een te hoge of lage weerstand, minimaliseren, wat bijdraagt ​​aan een ideaal elektrisch veld voor plasma-etsen met hoge precisie.

2. Precisieverwerking en strikte kwaliteitscontrole

Semicorex beschikt over een ervaren technisch team dat gepersonaliseerde aanpassingen en technische evaluaties voor onze gewaardeerde klanten kan bieden en heeft ook systematische verwerkings- en inspectieprocedures opgezet om de productkwaliteit te garanderen.

Flexibele maatwerkdiensten: Semicorex ondersteunt maatwerk op basis van klanttekeningen, en de maximale aangepaste diameter van siliciumetsringen kan oplopen tot 470 mm.

Hoogwaardige oppervlaktebehandeling: de polijstprecisie kan strikt worden gecontroleerd binnen Ra < 0,1 µm, en fijn slijpen bereikt een oppervlakteafwerking van Ra > 0,1 µm.

Strenge kwaliteitscontrole: de dimensionale meting, weerstandstests en visuele inspectie worden uitgevoerd om ervoor te zorgen dat de siliciumetsringen vrij zijn van spanen, krassen, scheuren, vlekken en andere defecten.