Als professionele fabrikant willen wij u graag halfgeleidercomponenten leveren. Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-gecoate componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van grafietverbruiksartikelen voor hete zones met kristalgroei (verwarmers, kroeskroezen, isolatie) tot zeer nauwkeurige grafietcomponenten voor waferverwerkingsapparatuur, zoals met siliciumcarbide gecoate grafietkroezen voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) gecoate grafietconstructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor een consistente dikte en weerstand van de epi-laag.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Eindeffector →
Eindeffector is de hand van de robot die halfgeleiderwafels beweegt tussen posities in waferverwerkingsapparatuur en dragers.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex SiC Heating Filament is een met siliciumcarbide gecoate grafietverwarmer, ontworpen voor wafelverwarming in de geavanceerde halfgeleiderproductie. Kiezen voor Semicorex betekent kiezen voor een vertrouwde partner die zeer zuivere materialen, nauwkeurig maatwerk en langdurige prestaties levert voor de meest veeleisende thermische processen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex siliciumcarbide klauwplaten zijn speciaal ontworpen voor fotolithografische apparatuur en hebben meerdere voordelen, zoals hoge precisie, ultralicht gewicht, hoge stijfheid, lage thermische uitzettingscoëfficiënt en uitstekende slijtvastheid.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Furnace Tubes zijn zeer zuivere siliciumcarbidebuizen vervaardigd met behulp van geavanceerde 3D-printtechnologie, ontworpen voor fotovoltaïsche processen bij hoge temperaturen. Semicorex levert geavanceerde SiC-oplossingen met superieure sterkte, stabiliteit en betrouwbaarheid, waar de zonne-energie-industrie wereldwijd op vertrouwt.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC-peddels zijn zeer zuivere siliciumcarbide cantileverarmen, ontworpen voor wafeltransport in oxidatie- en diffusieovens bij hoge temperaturen boven 1000 ℃. Kiezen voor Semicorex betekent het garanderen van uitzonderlijke materiaalkwaliteit, precisietechniek en langdurige betrouwbaarheid, waar toonaangevende halfgeleiderfabrikanten op vertrouwen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Focus Ring is een zeer zuiver siliciumcarbide ringcomponent, ontworpen om de plasmadistributie en de uniformiteit van waferprocessen bij de productie van halfgeleiders te optimaliseren. Kiezen voor Semicorex betekent het garanderen van consistente kwaliteit, geavanceerde materiaaltechniek en betrouwbare prestaties, waar toonaangevende halfgeleiderfabrikanten over de hele wereld op vertrouwen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Wafer Edge slijpende Chuck is een keramische schijf gemaakt van een hoog zuivere witte aluminiumoxide, ontworpen voor wafelrand slijpen in de productie van halfgeleiders. Het kiezen van Semicorex zorgt voor superieure materiaalkwaliteit, precisie -engineering en betrouwbare prestaties die de meest veeleisende waferverwerkingsomgevingen ondersteunen.*
Lees verderStuur onderzoek