Siliciumcassetteboten

Siliciumcassetteboten gemaakt van onovertroffen polykristallijn silicium of monokristallijn silicium met een hoge zuiverheid hebben de volgende voordelen:

1. Ultra-lage onzuiverheidsverontreiniging: 

Hun materialen hebben dezelfde chemische samenstelling als de gedragen wafers, waardoor ongewenste onzuiverheid tijdens processen bij hoge temperaturen tot een minimum wordt beperkt.

2. Uitstekende thermische stabiliteit: 

Ze zijn bestand tegen vervorming en behouden een nauwkeurige afstand voor langdurige blootstelling aan hoge temperaturen (rond 1250°C), waardoor ze een stabiel ondersteuningsplatform voor wafers bieden.

3. Uitstekende mechanische eigenschappen: 

1. Ultra-lage onzuiverheidsverontreiniging: 

4. Lange levensduur: 

Omdat ze geen oppervlaktecoating hebben, zullen de oppervlaktematerialen niet loslaten, zelfs niet als ze langdurig worden blootgesteld aan uitdagende omgevingen met hoge temperaturen.

Semicorex siliciumcassette botenzijn kleine wafersteun- en overdrachtdragers die compatibel zijn met 4-inch en 6-inch horizontale hogetemperatuurovens. Het geïntegreerde, gevormde structurele ontwerp vermijdt de lasspleet en structurele zwakheden bij de verbindingen, waardoor de risico's op scheuren veroorzaakt door mechanische impact, chemische corrosie of thermische spanning aanzienlijk worden verminderd. Siliciumcassetteboten zijn goed compatibel met behandelingsprocedures bij hoge temperaturen, zoals oxidatie, diffusie, gloeien en reinigen bij hoge temperaturen, grotendeels dankzij de geavanceerde verwerkingstechnologie van Semicorex.

Semicorex siliciumcassetteboten ondersteunen hoogwaardige, op maat gemaakte aanpassingen voor onze gewaardeerde klanten, inclusief aspecten zoals de vorm van de groefstaaf, de lengte van de groeftand, het profiel, de kantelhoek en de totale laadcapaciteit van de wafer. Dit op maat gemaakte ontwerp garandeert dat wafers nauwkeurig op vaste intervallen in siliciumcassetteboten worden gerangschikt, waardoor positieafwijkingen en ongelijkmatige verwarming tijdens de verwerking effectief worden beperkt en daardoor schade aan de elektrische prestaties van de chip of zelfs volledige chipstoring wordt voorkomen. Om ervoor te zorgen dat klanten producten van hoge kwaliteit ontvangen, moeten de siliciumcassetteboten van Semicorex strenge kwaliteitsinspecties doorstaan, waaronder maatnauwkeurigheid, materiaaleigenschappen, vlakheid van het oppervlak, algehele reinheid en restspanning.