Silicium gebogen elektroden

Tijdens de geavanceerde etsapparatuur wordt de gebogen siliciumelektrode gewoonlijk bovenop de etskamer gemonteerd, gericht naar de halfgeleiderwafel. De gebogen siliciumelektrode werkt doorgaans samen met de elektrostatische spankop, Si-focusring, Si-randring, Si-uitlaatring en Si-afschermring om optimale bedrijfsomstandigheden te bieden voor uiterst nauwkeurig etsen.

Functies van Semicorex silicium gebogen elektroden

1. Compatibel met complexe 3D-structuuretsen

Met uitzonderlijke 3D-elektrische veldcontrolemogelijkheden, Semicorexsilicium gebogen elektrodenkan perfect aansluiten bij de geometrische kenmerken van complexe structuren. Het speciale gebogen ontwerp maakt nauwkeurige plasmacontrole en geoptimaliseerde energieverdeling mogelijk, wat een aanzienlijke invloed heeft op de beeldverhouding en de verticale zijwand van 3D-structuuretsen en volledig voldoet aan de productielijnvereisten van geavanceerde verpakkingsprocessen en 3D IC-integratie.

2. Nauwkeurige controle van de etsgasdistributie

Semicorex gebogen siliciumelektroden zijn voorzien van meerdere gelijkmatig verdeelde microgaten op hun oppervlak waardoor etsgas de etskamer kan binnendringen. Gebogen siliciumelektroden van Semicorex kunnen een nauwkeurige controle over het etsgas bereiken en zorgen ervoor dat dit gelijkmatig in de etskamer wordt verdeeld, waardoor procesvariaties als gevolg van niet-uniforme gasverdeling worden geminimaliseerd.

Voordelen van Semicorex silicium gebogen elektroden

1. Ultrahoge zuiverheid

Semicorex gebogen siliciumelektroden zijn gemaakt van ultrazuiver enkelkristalsiliciummet een zuiverheidsniveau van meer dan 99,9999999%, wat superieure weerstand biedt tegen plasma-erosie. Deze hoogwaardige materiaalkeuze kan ongewenste verontreiniging als gevolg van etsbijproducten effectief voorkomen en tegelijkertijd de levensduur van gebogen siliciumelektroden aanzienlijk verlengen.

2. Uitstekende elektrische eigenschappen

De gebogen siliciumelektroden van Semicorex zijn vervaardigd uit MCZ-gegroeid monokristallijn silicium en vertonen een uitstekende uniformiteit van de weerstand: <5%, en een breed selecteerbaar weerstandsbereik: lage resolutie. (<0,02), middenresolutie. (1–4) en hoge resolutie. (70-90).

3. Precisieverwerkingsnauwkeurigheid

Door middel van uiterst nauwkeurige mechanische verwerking bereiken Semicorex gebogen siliciumelektroden een consistente poriegrootte en uniforme gatverdeling. Hun oppervlakken zijn fijn gepolijst en geslepen: gepolijst (Ra <0,1 μm) en geslepen (Ra <1,6 μm), waarbij de algehele bewerkingsprecisie binnen 0,03 mm wordt geregeld.