6 inch SiC-boot

Semicorex 6 Inch SiC Boat is een geavanceerde waferdrager die is ontworpen om de prestaties en efficiëntie van halfgeleiderverwerking bij hoge temperaturen te optimaliseren, specifiek voor toepassingen zoals oxidatie, diffusie en andere thermische processen. Dit product is gemaakt van hoogwaardig siliciumcarbide (SiC) en biedt een robuuste oplossing voor het vasthouden van halfgeleiderwafels tijdens kritieke operaties bij hoge temperaturen, waardoor superieure thermische stabiliteit, uitstekende corrosieweerstand en minimale besmettingsrisico's worden geboden.

De 6 inch SiC-boot is vervaardigd met behulp van zeer zuiver siliciumcarbide (SiC), een materiaal dat bekend staat om zijn uitstekende thermische eigenschappen, chemische bestendigheid en duurzaamheid in zware omstandigheden. SiC wordt veel gebruikt bij de productie van halfgeleiders vanwege het hoge smeltpunt (ongeveer 2.700 °C), waardoor het ideaal is voor toepassingen bij hoge temperaturen, zoals wafelverwerking in oxidatie- en diffusieovens. Het ontwerp van de boot zorgt voor een uitstekende structurele integriteit en een uniforme warmteverdeling, die cruciaal zijn voor het bereiken van consistente resultaten bij de groei van halfgeleiderkristallen, oxidatie en andere thermische behandelingen.

Belangrijkste kenmerken en voordelen

Hoge thermische stabiliteit

De uitzonderlijke thermische geleidbaarheid van SiC zorgt ervoor dat de 6 inch SiC-boot extreme temperaturen kan weerstaan ​​zonder kromtrekken of verslechteren. Deze eigenschap is vooral waardevol tijdens oxidatie- en diffusieprocessen, waarbij nauwkeurige temperatuurregeling essentieel is voor consistente wafelverwerking.

Uitstekende chemische bestendigheid

De inherente weerstand van siliciumcarbide tegen chemische corrosie maakt de boot ideaal voor gebruik in omgevingen waar blootstelling aan agressieve gassen, zoals zuurstof, stikstof of andere reactieve elementen, gebruikelijk is. De boot behoudt zijn structurele integriteit en prestaties in chemisch reactieve omgevingen met hoge temperaturen, waardoor de kans op verontreiniging wordt verminderd.

Duurzaamheid bij hoge temperaturen

De 6 inch SiC Boat is ontworpen om te presteren bij temperaturen tot 1.500 °C, een vereiste voor veel halfgeleiderprocessen bij hoge temperaturen, waaronder oxidatie en diffusie. Deze hoge temperatuurtolerantie garandeert een lange levensduur, zelfs bij veeleisende toepassingen.

Laag besmettingsrisico

Eén van de kritische factoren bij de verwerking van halfgeleiders is het minimaliseren van vervuiling van het waferoppervlak. Het lage onzuiverheidsniveau en het niet-reactieve karakter van SiC zorgen ervoor dat de 6 Inch SiC Boat bijdraagt ​​aan een schone en gecontroleerde omgeving, waardoor het risico op ongewenste besmetting tijdens de verwerking wordt verminderd.

Uniforme wafelondersteuning

Het ontwerp van de boot zorgt ervoor dat wafers gelijkmatig worden ondersteund, waardoor een optimale uitlijning van de wafers behouden blijft en verzakking of verkeerde uitlijning tijdens verwerking bij hoge temperaturen wordt voorkomen. Deze uniforme ondersteuning is essentieel voor het garanderen van consistente resultaten en het voorkomen van waferdefecten.

Aanpassingsopties

De 6 inch SiC-boot kan worden aangepast aan de specifieke eisen van de klant, inclusief op maat gemaakte maten, vormen en configuraties voor verschillende wafertypen. Of de boot nu wordt gebruikt voor oxidatie, diffusie of andere thermische processen, hij kan worden geoptimaliseerd voor de specifieke processtroom van de klant.

Toepassingen in de productie van halfgeleiders

De 6 inch SiC Boat wordt voornamelijk gebruikt in thermische processen bij hoge temperaturen bij de productie van halfgeleiders. Het is vooral effectief in oxidatie- en diffusieovens, waar nauwkeurige controle van temperatuur en atmosfeer vereist is voor een succesvolle wafelverwerking.

• Oxidatieproces: Tijdens het oxidatieproces worden siliciumwafels bij verhoogde temperaturen blootgesteld aan zuurstof om een ​​dunne siliciumdioxidelaag op het wafeloppervlak te vormen. De 6 Inch SiC Boat zorgt ervoor dat de wafers veilig en gelijkmatig worden vastgehouden tijdens dit hoge temperatuurproces, waardoor vervorming of verkeerde uitlijning wordt voorkomen en een uniforme groei van de oxidelaag wordt gegarandeerd.
• Verspreidingsproces: Tijdens het diffusieproces worden doteermiddelen in de siliciumwafel geïntroduceerd om de elektrische eigenschappen ervan te wijzigen. De SiC Boat biedt stabiele en betrouwbare ondersteuning voor de wafers tijdens deze cruciale stap, waarbij hoge temperaturen en nauwkeurige controle van de diffusieomgeving van cruciaal belang zijn. De uitstekende thermische stabiliteit zorgt voor een gelijkmatige verwarming, wat cruciaal is voor het bereiken van het gewenste doteringsprofiel.
• Andere toepassingen bij hoge temperaturen: Naast oxidatie en diffusie kan de 6 inch SiC Boat worden gebruikt in andere hogetemperatuurprocessen, zoals gloeien, nitridatie en epitaxiale groei. De hoge thermische geleidbaarheid en weerstand tegen thermische schokken maken het een veelzijdige oplossing voor verschillende stadia van de fabricage van halfgeleiderapparaten.

Voordelen ten opzichte van andere materialen

Vergeleken met traditionele materialen zoals kwarts of grafiet biedt siliciumcarbide aanzienlijke voordelen bij de productie van halfgeleiders. Kwartsboten zijn gevoeliger voor thermische schokken en chemische reacties, terwijl grafietboten kunnen ontgassen en verontreiniging kunnen introduceren. SiC-boten daarentegen behouden hun prestaties in zware omstandigheden zonder het risico van vervuiling, thermische instabiliteit of degradatie. Dit maakt de 6 inch SiC Boat een betrouwbaardere en efficiëntere keuze voor halfgeleiderverwerking bij hoge temperaturen.

Semicorex 6 Inch SiC Boat is een cruciaal onderdeel in de halfgeleiderindustrie en biedt de noodzakelijke stabiliteit, chemische weerstand en thermische prestaties die nodig zijn voor geavanceerde waferverwerking. De hoge thermische geleidbaarheid, weerstand tegen chemische corrosie en het minimale besmettingsrisico maken het de ideale keuze voor oxidatie, diffusie en andere halfgeleiderprocessen bij hoge temperaturen. Of het nu wordt gebruikt in onderzoek en ontwikkeling of grootschalige productie, de 6 inch SiC Boat levert de prestaties en betrouwbaarheid die nodig zijn om resultaten van de hoogste kwaliteit bij de productie van halfgeleiders te garanderen.