Keramische eindeffector

Semicorex is uw partner voor geavanceerde grafietcomponenten en -assemblages ter ondersteuning van een hogere doorvoer en betere opbrengsten in uw halfgeleiderverwerkingsapparatuur. Onze materiaalexperts staan klaar om met u samen te werken om de optimale oplossing te ontwikkelen voor uw vereisten voor het hanteren, verwarmen en verwerken van wafels. Onze keramische eindeffector heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Ceramic End Effector is de hand van de robot die halfgeleiderwafels verplaatst tussen posities in waferverwerkingsapparatuur en dragers. De eindeffector moet dimensioneel nauwkeurig en thermisch stabiel zijn, en tegelijkertijd een glad, slijtvast oppervlak hebben om wafers veilig te kunnen hanteren zonder apparaten te beschadigen of deeltjesverontreiniging te veroorzaken. Onze uiterst zuivere siliciumcarbide keramische eindeffector biedt superieure hittebestendigheid, gelijkmatige thermische uniformiteit voor een consistente dikte en weerstand van de epilaag, en duurzame chemische bestendigheid.

Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve Ceramic End Effector, geven we prioriteit aan klanttevredenheid en bieden we kosteneffectieve oplossingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden, die hoogwaardige producten en een uitzonderlijke klantenservice levert.

Parameters van keramische eindeffector

Belangrijkste specificaties van CVD-SIC-coating
SiC-CVD-eigenschappen
Kristalstructuur	FCC β-fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	urn	2~10
Chemische zuiverheid	%	99.99995
Warmtecapaciteit	J kg-1 K-1	640
Sublimatie temperatuur	℃	2700
Flexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300℃)	430
Thermische uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Thermische geleidbaarheid	(W/mK)	300