Keramische eindeffector

Semicorex is uw partner voor geavanceerde grafietcomponenten en assemblages ter ondersteuning van een hogere doorvoer en betere opbrengsten in uw halfgeleiderverwerkingsapparatuur. Onze materiaalexperts staan klaar om met u samen te werken om de optimale juiste oplossing te ontwikkelen voor uw vereisten voor het hanteren, verwarmen en verwerken van wafels. Onze keramische eindeffector heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Ceramic End Effector is de hand van de robot die halfgeleiderwafels beweegt tussen posities in wafelverwerkingsapparatuur en dragers. De eindeffector moet maatnauwkeurig en thermisch stabiel zijn, terwijl hij een glad, slijtvast oppervlak heeft om wafers veilig te kunnen hanteren zonder apparaten te beschadigen of deeltjesverontreiniging te veroorzaken. Onze zeer zuivere keramische eindeffector van siliciumcarbide biedt superieure hittebestendigheid, gelijkmatige thermische uniformiteit voor consistente dikte en weerstand van de epilaag, en duurzame chemische weerstand.

Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve keramische eindeffectoren, we geven prioriteit aan klanttevredenheid en bieden kosteneffectieve oplossingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden die hoogwaardige producten en uitzonderlijke klantenservice levert.

Parameters van keramische eindeffector

Hoofdspecificaties van CVD-SIC Coating
SiC-CVD-eigenschappen
Kristal structuur	FCC Î² fase
Dikte	g/cm³	3.21
Hardheid	Vickers-hardheid	2500
Korrelgrootte	Î¼m	2~10
Chemische zuiverheid	%	99.99995
Warmte capaciteit	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatie temperatuur	℃	2700
Felexurale kracht	MPa (RT 4-punts)	415
Young's Modulus	Gpa (4pt bocht, 1300â)	430
Thermische Uitzetting (CTE)	10-6K-1	4.5
Warmtegeleiding	(W/mK)	300