SiC-gecoate wafelverwarmer

Semicorex is een toonaangevende, onafhankelijke fabrikant van siliciumcarbide gecoat grafiet en precisie-gefreesd hoogzuiver grafiet, waarbij de nadruk ligt op de siliciumcarbide gecoate grafiet-, siliciumcarbide-keramische en MOCVP-gebieden van de halfgeleiderproductie. Onze SiC-gecoate waferverwarmer heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Semicorex SiC gecoate wafelverwarmer kan werken in de hogetemperatuuroven met meer dan 3000 °C in een inerte atmosfeer, 2200 °C in vacuüm. De zeer zuivere SiC-gecoate waferverwarmer biedt superieure hittebestendigheid, gelijkmatige thermische uniformiteit voor consistente dikte en weerstand van de epilaag, en duurzame chemische bestendigheid. De fijne SiC-kristalcoating zorgt voor een schoon, glad oppervlak, dat van cruciaal belang is bij het hanteren, omdat onberispelijke wafers op veel punten over hun hele oppervlak in contact komen met de susceptor.
Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve SiC-gecoate waferverwarmers, geven we prioriteit aan klanttevredenheid en bieden we kosteneffectieve oplossingen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden, die hoogwaardige producten en een uitzonderlijke klantenservice levert.

Parameters van SiC-gecoate waferverwarmer

Technische specificatie	VET-M3
Bulkdichtheid (g/cm3)	≥1,85
Asgehalte (PPM)	≤500
Shore-hardheid	≥45
Specifieke weerstand (μ.Ω.m)	≤12
Buigsterkte (Mpa)	≥40
Druksterkte (Mpa)	≥70
Max. Korrelgrootte (μm)	≤43
Thermische uitzettingscoëfficiënt Mm/°C	≤4,4*10-6

Kenmerken van SiC-gecoate waferverwarmer

- Zeer zuiver SiC-gecoat grafiet
- Superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit
- Fijne SiC-kristalcoating voor een glad oppervlak
- Hoge duurzaamheid tegen chemische reiniging
- Materiaal is zo ontworpen dat scheuren en delaminatie niet optreden.