Wafer-procesverwarmer

Semicorex is een grootschalige fabrikant en leverancier van siliciumcarbide gecoate grafiet susceptor in China. We richten ons op halfgeleiderindustrieën zoals siliciumcarbidelagen en epitaxie-halfgeleiders. Onze Wafer Process Heater heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt veel van de Europese en Amerikaanse markten. Wij kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Semicorex Wafer Process Heater is gemaakt van Silicon Carbide Coating (SiC) grafiet, de coating wordt via een CVD-methode aangebracht op specifieke soorten grafiet met hoge dichtheid, zodat deze kan werken in de hogetemperatuuroven met meer dan 3000 ° C in een inerte atmosfeer. 2200°C in vacuüm.
De speciale eigenschappen en de lage massa van het Wafer Process Heater-materiaal zorgen voor snelle verwarmingssnelheden, uniforme temperatuurverdeling en uitstekende precisie in controle. In vergelijking met ander materiaal blijft het oppervlak van siliciumcarbide vlak vanwege de lage thermische uitzetting, zelfs bij gebruik met snelle temperatuurschommelingen. De kookplaten zijn zeer geschikt voor veeleisende processen in halfgeleiderverwerkingssystemen.
Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve producten aan onze klanten. Onze Wafer Process Heater heeft een prijsvoordeel en wordt naar veel Europese en Amerikaanse markten geëxporteerd. Wij streven ernaar uw langetermijnpartner te zijn en producten van consistente kwaliteit en een uitzonderlijke klantenservice te leveren.

Parameters van Wafer-procesverwarmer

Technische specificatie	VET-M3
Bulkdichtheid (g/cm3)	≥1,85
Asgehalte (PPM)	≤500
Shore-hardheid	≥45
Specifieke weerstand (μ.Ω.m)	≤12
Buigsterkte (Mpa)	≥40
Druksterkte (Mpa)	≥70
Max. Korrelgrootte (μm)	≤43
Thermische uitzettingscoëfficiënt Mm/°C	≤4,4*10-6

Kenmerken van Wafer-procesverwarmer

- CVD SiC-coatings om de levensduur te verbeteren.
- Hoge temperatuurbestendigheid, corrosieweerstand, lange levensduur, kan de kwaliteit en opbrengst van de wafel verbeteren.
- Het heeft een extreem lage thermische uitzettingscoëfficiënt, hoge temperatuurbestendigheid, hoge slijtvastheid, goede isolatie, goede chemische stabiliteit en bijna-paars (rood) zichtbare lichtpenetratie.

We kunnen anti-oxidatie en een grafietsmeltkroes met een lange levensduur, grafietvorm en alle onderdelen van de grafietverwarmer leveren.