Batch Wafelboot

Semicorex levert waferboten, sokkels en op maat gemaakte waferdragers voor zowel verticale/kolom- als horizontale configuraties. Wij zijn al jaren fabrikant en leverancier van siliciumcarbide coatingfolie. Onze Batch Wafer Boat heeft een goed prijsvoordeel en bestrijkt de meeste Europese en Amerikaanse markten. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.

Stuur onderzoek

Productomschrijving

Semicorex Batch Wafer Boat is gemaakt van hoogwaardig keramisch siliciumcarbidemateriaal voor superieure chemische weerstand en thermische stabiliteit.
Onze Batch Wafer Boat heeft een gladde oppervlakteafwerking en biedt uitstekende ondersteuning en bescherming van de wafer tijdens de verwerking. De SiC-coating zorgt voor uniformiteit en stabiliteit tijdens de verwerking en beschermt de wafels tegen vervuiling en beschadiging. Met uitstekende thermische geleidbaarheid en superieure mechanische sterkte bieden onze waferhouders consistente en betrouwbare resultaten.
Ons team van experts streeft ernaar de beste kwaliteit en service te bieden. We bieden op maat gemaakte ontwerpen om aan uw specifieke eisen te voldoen, en onze batchwaferboten worden ondersteund door ons kwaliteitsborgingsprogramma.

Parameters van batchwafelboot

Technische eigenschappen
Index	Eenheid	Waarde
Materiaalnaam		Reactie Gesinterd siliciumcarbide	Drukloos gesinterd siliciumcarbide	Herkristalliseerd siliciumcarbide
Samenstelling		RBSiC	SSiC	R-SiC
Bulkdichtheid	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Buigsterkte	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
Druksterkte	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Hardheid	Knoop	2700	2800	/
Doorbrekende vasthoudendheid	MPa m1/2	4.5	4	/
Thermische geleidbaarheid	W/m.k	95	120	23
Coëfficiënt van thermische uitzetting	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifieke warmte	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximale temperatuur in de lucht	℃	1200	1500	1600
Elasticiteitsmodulus	Gpa	360	410	240

Het verschil tussen SSiC en RBSiC:

1. Het sinterproces is anders. RBSiC is bedoeld om bij lage temperatuur vrij Si in siliciumcarbide te infiltreren, SSiC wordt gevormd door natuurlijke krimp bij 2100 graden.

2. SSiC heeft een gladder oppervlak, een hogere dichtheid en een hogere sterkte. Voor sommige afdichtingen met strengere oppervlakte-eisen zal SSiC beter zijn.

3. Verschillende gebruikte tijd onder verschillende PH en temperatuur, SSiC is langer dan RBSiC

Kenmerken van Batch Waferboot

- Hoge sterkte (Mohs-hardheid 9,5, de tweede alleen voor diamant)
- Corrosiebestendigheid tegen zuren, logen, zouten en organische oplosmiddelen
- Hoge thermische geleidbaarheid, plasmaweerstand, lange levensduur
- Halfgeleiders