Aangepaste SiC-cantileverpeddel

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle fungeert als de kritische schakel tussen het waferlaadsysteem en het hart van de diffusieoven, verantwoordelijk voor het transporteren van kwarts- of SiC-wafelboten beladen met siliciumwafels naar de verwerkingszone met hoge temperatuur. Hun ontwerp en materiaaleigenschappen zijn zorgvuldig geoptimaliseerd voor deze veeleisende taak:

Robuuste cantileverstructuur voor stabiel wafertransport:Het vrijdragende ontwerp, gekenmerkt door een stijve arm die zich uitstrekt tot in de oven, zorgt voor uitzonderlijke stabiliteit en nauwkeurige controle over de beweging van de wafel. Dit zorgt voor een soepel en trillingsvrij transport, waardoor het risico op wafelbreuk of verkeerde uitlijning tijdens het laden en lossen wordt geminimaliseerd.

Hoge laadcapaciteit voor efficiënte batchverwerking:Dankzij de inherente sterkte en stijfheid van SiC-keramiek kan de Custom SiC Cantilever Paddle zware ladingen siliciumwafels verwerken, waardoor de doorvoer van elke diffusiecyclus wordt gemaximaliseerd en wordt bijgedragen aan hogere productievolumes.

Nauwkeurige maatvoering voor naadloze integratie: De Custom SiC Cantilever Paddle is zorgvuldig vervaardigd volgens nauwkeurige maatspecificaties, waardoor een perfecte pasvorm binnen het diffusieovensysteem wordt gegarandeerd en een naadloze integratie met geautomatiseerde waferhandlingrobots wordt vergemakkelijkt.

De selectie van SiC-keramiek in het bijzonderReactiegebonden siliciumcarbide (RBSiC)EnGesinterd siliciumcarbide (SSiC), aangezien het materiaal bij uitstek voor de Custom SiC Cantilever Paddle voortkomt uit hun uitzonderlijke prestatiekenmerken in omgevingen met hoge temperaturen:

Onwrikbare stabiliteit bij hoge temperaturen: De Custom SiC Cantilever Paddle vertoont uitzonderlijke weerstand tegen vervorming en kruip, zelfs bij de hoge temperaturen (tot 1600°C) die voorkomen in diffusieovens. Dit zorgt voor een consistente wafelondersteuning en voorkomt doorzakken of buigen, wat de uniformiteit van de wafel in gevaar zou kunnen brengen.

Uitzonderlijke weerstand tegen thermische schokken:Het vermogen om snelle temperatuurveranderingen zonder schade te weerstaan ​​is cruciaal voor het behoud van de integriteit van de Custom SiC Cantilever Paddle gedurende talloze diffusiecycli. SiC-keramiek blinkt uit in dit opzicht en minimaliseert het risico op barsten of breuken, wat tot kostbare stilstand kan leiden.

Lage thermische uitzetting voor nauwkeurige uitlijning:De minimale thermische uitzetting van SiC-keramiek zorgt ervoor dat de Custom SiC Cantilever Paddle zijn dimensionale stabiliteit behoudt over het brede temperatuurbereik dat tijdens bedrijf wordt ervaren. Dit is van cruciaal belang voor het behouden van een nauwkeurige uitlijning van de wafels in de oven, waardoor een uniforme verwarming en consistente diffusieprofielen worden gegarandeerd.