Eindeffector voor het hanteren van wafers

Semicorex End Effector voor Wafer Handling is dimensionaal nauwkeurig en thermisch stabiel, terwijl ze een gladde, slijtvaste CVD SiC-coatingfilm hebben om wafers veilig te hanteren zonder apparaten te beschadigen of deeltjesverontreiniging te veroorzaken, waardoor halfgeleiderwafels tussen posities in waferverwerkingsapparatuur en dragers kunnen bewegen nauwkeurig en efficiënt. Onze zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) coating End Effector voor Wafer Handling biedt superieure hittebestendigheid, zelfs thermische uniformiteit voor consistente dikte en weerstand van de epilaag, en duurzame chemische bestendigheid.

Bij Semicorex richten we ons op het leveren van hoogwaardige, kosteneffectieve producten aan onze klanten. Onze End Effector voor Wafer Handling heeft een prijsvoordeel en wordt naar vele Europese en Amerikaanse markten geëxporteerd. Wij streven ernaar uw langetermijnpartner te zijn en producten van consistente kwaliteit en een uitzonderlijke klantenservice te leveren.

Parameters van de eindeffector voor het hanteren van wafers

Kenmerken van End Effector voor het hanteren van wafels

Zeer zuivere SiC-coating gebruikt CVD-methode

Superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit

Fijne SiC-kristalcoating voor een glad oppervlak

Hoge duurzaamheid tegen chemische reiniging

Het materiaal is zo ontworpen dat scheuren en delaminatie niet optreden.